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公开(公告)号：KR101799019B1
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：KR1020160032350
申请日：2016-03-17
Applicant: 전남대학교산학협력단
Inventor： 강현욱
Abstract: 금속막또는금속산화물막을패턴인쇄할수 있는물리적증기젯인쇄장치및 방법이개시된다. 물리적증기젯인쇄장치는진공챔버, 노즐부, 레이저조사부, 및가스공급부를포함한다. 진공챔버의내부에기판과노즐부가설치된다. 노즐부는기판을향한일단에분출구가형성된노즐본체, 노즐본체의내부에설치된타겟, 및노즐본체에형성된레이저투과를위한윈도우를포함한다. 레이저조사부는윈도우를통해타겟으로고출력펄스레이저를조사하여타겟의표면물질이기화된플룸(plume)을발생시킨다. 가스공급부는플룸으로캐리어가스를분사하여플룸과캐리어가스를포함한증기젯을분출구로방출시킨다.
Abstract translation: 公开了一种能够图案印刷金属膜或金属氧化物膜的物理蒸汽喷射印刷设备和方法。 物理蒸汽喷射印刷设备包括真空室，喷嘴部分，激光照射部分和气体供应部分。 衬底和喷嘴设置在真空室内部。 喷嘴单元包括喷嘴主体，该喷嘴主体具有形成在朝向基板的一端处的喷射口，设置在喷嘴主体内部的靶以及形成在喷嘴主体中的用于激光传输的窗口。 激光照射单元通过窗口向目标照射高功率脉冲激光，以产生目标表面材料的蒸发羽流。 气体供应部分将载气注入羽流中以将包括羽流和载气的蒸汽射流排放到喷射口中。
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公开(公告)号：KR1020170108450A
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020160032350
申请日：2016-03-17
Applicant: 전남대학교산학협력단
Inventor： 강현욱
CPC classification number: C23C14/22 , C23C14/228 , C23C26/00
Abstract: 금속막또는금속산화물막을패턴인쇄할수 있는물리적증기젯인쇄장치및 방법이개시된다. 물리적증기젯인쇄장치는진공챔버, 노즐부, 레이저조사부, 및가스공급부를포함한다. 진공챔버의내부에기판과노즐부가설치된다. 노즐부는기판을향한일단에분출구가형성된노즐본체, 노즐본체의내부에설치된타겟, 및노즐본체에형성된레이저투과를위한윈도우를포함한다. 레이저조사부는윈도우를통해타겟으로고출력펄스레이저를조사하여타겟의표면물질이기화된플룸(plume)을발생시킨다. 가스공급부는플룸으로캐리어가스를분사하여플룸과캐리어가스를포함한증기젯을분출구로방출시킨다.
Abstract translation: 公开了一种能够图案印刷金属膜或金属氧化物膜的物理蒸汽喷射印刷设备和方法。 物理蒸汽喷射印刷设备包括真空室，喷嘴部分，激光照射部分和气体供应部分。 衬底和喷嘴设置在真空室内部。 喷嘴部包括形成用于激光传输到目标的窗口，以及所述喷嘴体的内部设置的喷嘴体，在所述出口朝向基板端形成喷嘴主体。 激光照射单元通过窗口向目标照射高功率脉冲激光以产生目标的表面物化羽流。 气体供应部分将载气注入羽流中以将包括羽流和载气的蒸汽射流排放到喷射口中。
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