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公开(公告)号：KR101394258B1
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：KR1020120061389
申请日：2012-06-08
Applicant: 전북대학교산학협력단
IPC: G01N1/00
Abstract: 영구자석형 하중 보상 전자기 구동기가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 전자기 구동기는, 제11 영구자석체, 제12 영구자석체 및 코일을 구비한 이동체 및 제21 영구자석체 및 제22 영구자석체를 구비한 본체를 포함하며, 제11 영구자석체와 제21 영구자석체 간에 제1 자기력이 작용하고, 제22 영구자석체와 제12 영구자석체 간에 제2 자기력이 작용하며, 제21 영구자석체의 반경은 제11 영구자석체 보다 크고, 제22 영구자석체의 반경은 제12 영구자석체 보다 크다. 이에 의해, 영구자석형 하중 보상 전자기 구동기가 수평 방향에 대한 외란으로부터 안정적으로 동작하므로, 보다 정확한 하중 보상이 가능해진다.
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公开(公告)号：KR1020160014827A
公开(公告)日：2016-02-12
申请号：KR1020140096422
申请日：2014-07-29
Applicant: 전북대학교산학협력단
IPC: H01L21/683 , H01L21/66 , H01L21/677
Abstract: 본발명의실시예에따른자기부상이중서보스테이지는 2차원자석배열과상기 2차원자석배열의상부에공극을두고배치된다수개의코일로구성된평면모터에의해부상및 구동되는조동스테이지및 상기조동스테이지의상부에다수개의보이스코일모터로부상및 구동되는미세스테이지;를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，使用磁悬浮技术的双伺服平台包括：由二维磁体阵列和多个线圈组成的平面电动机运行和悬浮的粗级， 具有孔的二维磁体阵列; 以及通过在粗级的上部的多个音圈电动机进行操作和浮动的精细级。
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公开(公告)号：KR101598997B1
公开(公告)日：2016-03-03
申请号：KR1020140096422
申请日：2014-07-29
Applicant: 전북대학교산학협력단
IPC: H01L21/683 , H01L21/66 , H01L21/677
Abstract: 본발명의실시예에따른자기부상이중서보스테이지는 2차원자석배열과상기 2차원자석배열의상부에공극을두고배치된다수개의코일로구성된평면모터에의해부상및 구동되는조동스테이지및 상기조동스테이지의상부에다수개의보이스코일모터로부상및 구동되는미세스테이지;를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020130137826A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：KR1020120061389
申请日：2012-06-08
Applicant: 전북대학교산학협력단
IPC: G01N1/00
Abstract: A permanent magnet-type electromagnetic actuator for load compensation is provided. The electromagnetic actuator according to an embodiment of the present invention comprises; a moving body including a 11^th permanent magnet, a 12^th permanent magnet, and a coil; and a main body including a 21^st permanent magnet and a 22^th permanent magnet, wherein a first magnetic force acts between the 11^th permanent magnet and the 21^st permanent magnet, a second magnetic force acts between the 22^nd permanent magnet and the 12^th permanent magnet, the radius of the 21^st permanent magnet is greater than that of the 11^th permanent magnet, and the radius of 22^nd permanent magnet is greater than that of 12^th permanent magnet. As a result, the permanent magnet-type electromagnetic actuator for load compensation stably operates against disturbance in the horizontal direction, thereby compensating a load more accurately. [Reference numerals] (AA) Lorentz force;(BB,CC) Repulsive force;(DD,EE) Attractive force
Abstract translation: 提供了用于负载补偿的永久磁铁式电磁致动器。 根据本发明实施例的电磁致动器包括： 包括第十一永久磁铁，第十二永磁体和线圈的移动体; 以及包括第二永磁体和第二十二永磁体的主体，其中第一磁力作用在第十一永久磁铁与第二十一永磁体之间，第二磁力作用在第二永磁体之间 永磁体和第十二永磁体，第二十一永磁体的半径大于第十一永磁体的半径，第二十二永磁体的半径大于第十二永磁体的半径 。 结果，用于负载补偿的永久磁铁式电磁致动器稳定地抵抗水平方向上的干扰，从而更准确地补偿负载。 （参考号）（AA）洛伦兹力;（BB，CC）排斥力;（DD，EE）有吸引力
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