Patent search ap:("전북대학교산학협력단") AND inv:"김종운" Page 1

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发明申请
대기압 플라즈마를 이용한 OLED 소자 박막 봉지 및 그 제조방법 审中-公开

公开(公告)号：WO2021107338A1

公开(公告)日：2021-06-03

申请号：PCT/KR2020/011355

申请日：2020-08-26

Applicant: 전북대학교산학협력단

Inventor： 문세연 , 호돌프모셰프 , 김종운 , 김동현

IPC: H01L51/52 , H01L51/56 , C09K3/10

Abstract: 본 발명은 OLED 박막 봉지 및 그 제조방법에 대한 것으로, 보다 상세하게는 대기압의 열린 공간에서 박막 제조 공정을 진행할 수 있어, 고가의 진공장치가 요구되지 않아 비용 절감 및 우수한 품질로 산소 및 수분 차단 효과가 우수한 박막증착을 통해 OLED 소자 성능을 향상시킬 수 있는 공정 및 그 장치에 대한 것이다.

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