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公开(公告)号:KR102035603B1
公开(公告)日:2019-10-23
申请号:KR1020170160273
申请日:2017-11-28
Applicant: 전자부품연구원
Inventor: 한철종 , 오민석 , 박홍선 , 고은지
IPC: H01L21/02 , H01L29/06