公开(公告)号：KR100234915B1

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：KR1019960080029

申请日：1996-12-31

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 윤대원 ,  윤형도 ,  김성구 ,  허현 ,  반재경

IPC: H01L21/28

Abstract: 파릴렌 버퍼층을 구비하는 집적광학소자를 개시한다. 본 발명은 기판의 표면 근방에 형성된 광도파로와, 상기 광도파로 및 기판 상에 형성된 파릴렌 버퍼층과, 상기 파릴렌 버퍼층의 표면 일부를 노출하는 도전패턴과, 상기 도전패턴 상에 형성된 전극패턴과, 상기 전극 패턴 상에 접착된 외부단자를 포함한다. 본 발명의 집적 광학소자는 두께가 얇은 파릴렌 버퍼층을 도입함으로써 저전압 구동을 하는데 유리하며, 공정을 단순화할 수 있기 때문에 재현성 있는 소자제작이 가능하고 제작단가를 낮출 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980060666A

公开(公告)日：1998-10-07

申请号：KR1019960080029

申请日：1996-12-31

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 윤대원 ,  윤형도 ,  김성구 ,  허현 ,  반재경

IPC: H01L21/28

Abstract: 파릴렌 버퍼층을 구비하는 집적광학소자를 개시한다. 본 발명은 기판의 표면 근방에 형성된 광도파로와, 상기 광도파로 및 기판 상에 형성된 파릴렌 버퍼층과, 상기 파릴렌 버퍼층의 표면 일부를 노출하는 도전패턴과, 상기 도전패턴 상에 형성된 전극패턴과, 상기 전극 패턴 상에 접착된 외부전극을 포함한다. 본 발명의 집적광학소자는 두께가 얇은 파린렌 버퍼층을 도입함으로써 저전압 구동을 하는데 유리하며, 공정을 단순화할 수 있기 때문에 재현성 있는 소자제작이 가능하고 제작단가를 낮출 수 있다.