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公开(公告)号：KR101093603B1
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：KR1020090099263
申请日：2009-10-19
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 공정이 간단하고 제조비용이 낮은 고성능 소산파 표면센서가 제안된다. 제안된 소산파 표면센서는 기판 상부의 하부클래드층, 하부클래드층 상면에 형성되는 코어층, 및 코어층의 상면을 노출시켜 일측이 2개로 분기된 광도파로를 형성하도록, 하부클래드층 및 코어층 상에 형성되는 상부클래드층을 포함한다. 특히 광도파로는 코어층의 일단에 입사부 및 출력부가 형성되어 일원화된다.
소산파, 바이오센서, 광도파로-
公开(公告)号：KR1020110042545A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：KR1020090099263
申请日：2009-10-19
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: An evanescent wave surface sensor and a manufacturing method thereof are provided to improve sensitivity and measurement efficiency since surface variation is measured by interference change of light according to surface variation. CONSTITUTION: An evanescent wave surface sensor comprises a lower clad layer(120), a core layer(130), and an upper clad layer(140). The lower clad layer is installed on the upper part of a substrate(110). The core layer is formed on upper side of the lower clad layer. The upper clad layer exposes the upper side of the core layer. An optical waveguide is formed on the upper clad layer. The upper clad layer is formed on the lower clad layer and the core layer.
Abstract translation: 目的：提供一种ev逝波表面传感器及其制造方法，以提高灵敏度和测量效率，因为通过根据表面变化的光的干涉变化来测量表面变化。 构成：消逝波表面传感器包括下包层（120），芯层（130）和上覆层（140）。 下覆盖层安装在基板（110）的上部。 芯层形成在下包层的上侧。 上包层暴露核心层的上侧。 在上包层上形成光波导。 上覆盖层形成在下覆盖层和芯层上。
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公开(公告)号：KR1020100098875A
公开(公告)日：2010-09-10
申请号：KR1020090017567
申请日：2009-03-02
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G02B5/3083 , G02B6/125 , G02B6/2713 , G02B27/281 , G02B27/285
Abstract: PURPOSE: A surface detecting apparatus using polarization interference and the phase change detecting method between the polarized light are provided to precisely analyze the phase change between polarized lights by installing a polarization conversion device on the output terminal of a light waveguide. CONSTITUTION: An optical waveguide(240) changes the phase between two polarized lights through the change of a surface material. A 1/4 wavelength phase delay(250) delays the phase outputted from the optical waveguide. A polarized light(260) comprises an opaque region and filters the light. An optical detector(270) changes light intensity into an electric signal.
Abstract translation: 目的：提供使用偏振干涉的表面检测装置和偏振光之间的相位变化检测方法，以通过在光波导的输出端上设置偏振变换装置来精确地分析偏振光之间的相位变化。 构成：光波导（240）通过表面材料的变化改变两个偏振光之间的相位。 1/4波长相位延迟（250）延迟从光波导输出的相位。 偏振光（260）包括不透明区域并对光进行滤光。 光学检测器（270）将光强度改变为电信号。
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公开(公告)号：KR101066112B1
公开(公告)日：2011-09-20
申请号：KR1020090017567
申请日：2009-03-02
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 편광간섭 표면 검출장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 광도파로 출력단에 위상지연기, 편광자 등의 편광변환 장치를 위치시키고 이를 축회전시킴으로써 시간에 따른 출력편광의 변화를 유발한 후, 이를 분석하여 광도파로에서 유발된 편광간의 위상변화를 좀 더 정밀하게 분석할 수 있는 편광간섭 표면 검출장치 및 이를 이용한 편광간 위상변화 검출방법에 관한 것이다.
본 발명의 편광간섭 표면 검출장치는 광원발생장치로부터 입사되는 광을 표면 물질의 변화에 의해 두 편광간 위상변화가 발생하도록 하는 광도파로; 상기 광도파로의 두 편광에 대해 45°의 각도로 기울어져 있으며, 상기 광도파로로부터 출력된 광의 위상을 지연지키기 위한 1/4 파장 위상지연기; 불투명 영역이 존재하고 축 회전이 가능하며, 상기 1/4 파장 위상지연기를 통과한 광을 필터링하기 위한 편광자; 및 상기 편광자를 통과한 광의 광세기를 전기적 신호로 변환하는 광검출기를 포함함에 기술적 특징이 있다.
편광간섭, 표면검출, 위상변화, 광도파로, 표면센서
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