수정 진동자의 제조 방법
    1.
    发明公开
    수정 진동자의 제조 방법 失效
    制造水晶空白的方法

    公开(公告)号:KR1020050113339A

    公开(公告)日:2005-12-02

    申请号:KR1020040037936

    申请日:2004-05-27

    CPC classification number: H03H3/04 H03H3/02 H03H9/02023 H03H9/21 H03H9/215

    Abstract: 본 발명은 수정 진동자의 제조 방법에 관한 것으로, 수정(Crystal) 기판의 일면과 타면에 식각할 영역을 노출시키는 개구를 갖는 마스크를 형성하는 단계와; 상기 마스크가 형성된 수정 기판의 일면과 타면에 플라즈마 상태의 가스를 공급하여 상기 마스크의 개구를 통하여 노출된 수정 기판의 일면과 타면을 식각하는 단계와; 상기 마스크를 제거하고, 상기 수정 기판의 일면과 타면에 전극을 형성하는 단계로 이루어진다.
    따라서, 본 발명은 수정 기판을 플라즈마 상태의 가스로 식각하여 종래의 습식 식각시 발생되는 측면 침투 식각 현상을 방지할 수 있어 기계적 강도가 우수한 안정된 구조를 형성하고, 표면 거칠기(Roughness)가 개선되어 수정 진동자의 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

    수정 진동자의 제조 방법
    2.
    发明授权
    수정 진동자의 제조 방법 失效
    制造晶体空白的方法

    公开(公告)号:KR100633281B1

    公开(公告)日:2006-10-12

    申请号:KR1020040037936

    申请日:2004-05-27

    Abstract: 본 발명은 수정 진동자의 제조 방법에 관한 것으로, 수정(Crystal) 기판의 일면과 타면에 식각할 영역을 노출시키는 개구를 갖는 마스크를 형성하는 단계와; 상기 마스크가 형성된 수정 기판의 일면과 타면에 플라즈마 상태의 가스를 공급하여 상기 마스크의 개구를 통하여 노출된 수정 기판의 일면과 타면을 식각하는 단계와; 상기 마스크를 제거하고, 상기 수정 기판의 일면과 타면에 전극을 형성하는 단계로 이루어진다.
    따라서, 본 발명은 수정 기판을 플라즈마 상태의 가스로 식각하여 종래의 습식 식각시 발생되는 측면 침투 식각 현상을 방지할 수 있어 기계적 강도가 우수한 안정된 구조를 형성하고, 표면 거칠기(Roughness)가 개선되어 수정 진동자의 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
    수정, 진동자, 마스크, 플라즈마, 이중, 식각

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