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公开(公告)号:KR20180064826A
公开(公告)日:2018-06-15
申请号:KR20160165178
申请日:2016-12-06
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01S7/486
CPC classification number: G01S7/4865 , G01S7/497 , G01S17/08 , G01S17/88
Abstract: 본발명은, 수광신호의크기를기준값과비교하여, 통과여부를결정하는노이즈제거부, 상기노이즈제거부와병렬로연결되며, 상기수광신호를제1 지연시간만큼시간을지연시키고제1 인가전압만큼레벨을상승시킨지연신호와상기수광신호를비교하여, 상기지연신호와상기수광신호의교차점에서제1 펄스를출력하는오차저감부및 상기노이즈제거부로부터통과신호가입력되면, 상기오차저감부에서입력되는제1 펄스의폭을조절하여제2 펄스를출력하는펄스폭조절부를포함하는, 신호크기차이에의한측정오차를저감하는장치를제공한다.
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公开(公告)号:KR101915858B1
公开(公告)日:2018-11-06
申请号:KR1020160165178
申请日:2016-12-06
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01S7/486
Abstract: 본발명은, 수광신호의크기를기준값과비교하여, 통과여부를결정하는노이즈제거부, 상기노이즈제거부와병렬로연결되며, 상기수광신호를제1 지연시간만큼시간을지연시키고제1 인가전압만큼레벨을상승시킨지연신호와상기수광신호를비교하여, 상기지연신호와상기수광신호의교차점에서제1 펄스를출력하는오차저감부및 상기노이즈제거부로부터통과신호가입력되면, 상기오차저감부에서입력되는제1 펄스의폭을조절하여제2 펄스를출력하는펄스폭조절부를포함하는, 신호크기차이에의한측정오차를저감하는장치를제공한다.
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公开(公告)号:KR101667669B1
公开(公告)日:2016-10-28
申请号:KR1020150075698
申请日:2015-05-29
Applicant: 전자부품연구원 , 파워큐브세미 (주)
IPC: H01L29/872 , H01L21/265 , H01L21/48
Abstract: 본발명은오프상태에서열이온방출전류를감소시켜누설전류를감소시키기위한쇼트키배리어다이오드와그 제조방법에관한것으로, 반도체기판상면에증착되어있는 N-에피층상부전면에 N+ 이온주입영역을형성한후 어닐링처리하는단계와, 에지터미네이션을위해상기 N-에피층상부중앙영역에 N+이온주입영역이돌출되도록에지패터닝후트랜치에칭수행하는단계와, 상기트랜치에칭수행된상기반도체기판상부면에보호막을도포하는단계와, 상기 N-에피층중앙영역에 N+이온주입영역의돌출및 반도체칩 양단의보호막만이존재하도록컨택에칭하는단계와, 상기컨텍에칭완료된반도체기판상부면에쇼트키메탈층을형성하는단계와, 상기쇼트키메탈층상부면에전극층을형성하고에지터미네이션을위해반도체칩 양단의쇼트키메탈층과전극층을에칭처리하는단계를포함함을특징으로한다.
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