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公开(公告)号：KR101498186B1
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：KR1020130115767
申请日：2013-09-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 전도성 박막에 대한 직접적인 에칭 없이 배선 패턴을 형성할 수 있는 하이드로겔을 이용한 전도성 기판 및 그의 패턴 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명은 베이스 기판 위에 하이드로겔을 코팅하여 하이드로겔층을 형성하는 코팅 단계, 하이드로겔층의 부피를 팽창시켜 하이드로겔층의 상부면에 주름을 형성하는 주름 형성 단계, 하이드로겔층의 상부면에 나노탄소 또는 금속나노와이어를 코팅하여 전도성 박막을 형성하는 형성 단계, 및 하이드로겔층의 부피 수축을 통해 하이드로겔층의 주름을 펴서 전도성 박막을 분할하여 배선 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계를 포함하는 전도성 박막의 패턴 형성 방법과, 그 방법으로 제조된 전도성 기판을 제공한다.
Abstract translation: 提供一种用于形成导电薄膜的图案的方法，其可以形成线图案而不直接蚀刻导电薄膜，以及使用水凝胶的导电基板。 用于形成导电薄膜图案的方法包括：通过在基底基底上涂覆水凝胶来形成水凝胶层的涂覆步骤; 折痕形成步骤，通过扩大水凝胶层的体积，在水凝胶层的上侧形成折痕; 通过用纳米碳或金属纳米线涂覆水凝胶层的上表面来形成导电薄膜的形成步骤; 以及图案形成步骤，通过通过水凝胶的体积收缩来平滑水凝胶层的折痕来形成导线图案，以分割导电薄膜。
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公开(公告)号：KR1020150036841A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：KR1020130115768
申请日：2013-09-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/26 , G03F7/032
CPC classification number: H01L21/0273 , G03F7/031 , G03F7/0325 , G03F7/26 , H05K3/06 , H05K3/18
Abstract: 본발명은감광고분자, 그를이용한전도성기판및 그의패턴형성방법에관한것으로, 리프트-오프(lift-off) 방식으로전도성박막패턴을형성할때, 포토레지스트에변질이나물리적인손상으로인한패턴불량발생을억제하기위한것이다. 본발명은나노소재를함유하는전도성박막의패터닝용감광고분자로서, 물리적경화제와비가교성고분자수지를함유하는감광고분자를사용한다. 본발명은기판위에물리적경화제와비가교성고분자수지를함유하는감광고분자를도포하여감광고분자층을형성하는단계, 상기감광고분자층위에나노소자를함유하는전도성박막을형성하는박막형성단계, 개방부가형성된마스크를이용하여상기감광고분자층을노광하는노광단계, 및상기감광고분자층을현상액으로현상하여비노광된고분자층부분과, 상기비노광된고분자층상부의전도성박막부분을제거하여전도성박막패턴을형성하는패턴형성단계를포함하는전도성박막패턴의형성방법및 그방법으로제조된전도성기판을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及感光性聚合物，使用该感光性聚合物的导电性基板及其形成图案的方法，该方法使用剥离法形成导电性薄层图案时，能够最大限度地减少由于光刻胶的退化或物理损伤引起的故障图案的产生 。 本发明是用于图案化的含有纳米材料的导电薄层光敏聚合物，并且使用含有物理硬化剂和非交联聚合物树脂的光敏聚合物。 本发明包括：通过涂布含有物理硬化剂和非交联聚合物树脂的光敏聚合物形成光敏聚合物层的步骤; 形成包含感光性聚合物层的上述纳米材料的导电性薄层的工序; 使用具有开放部分的掩模将光敏聚合物层曝光的步骤; 以及图案形成步骤，其中使用显影剂显影光敏聚合物层，消除不暴露于光的聚合物部分和其上的导电薄层，并且形成导电薄层图案。
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公开(公告)号：KR101529037B1
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：KR1020130115768
申请日：2013-09-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/26 , G03F7/032
Abstract: 본발명은감광고분자, 그를이용한전도성기판및 그의패턴형성방법에관한것으로, 리프트-오프(lift-off) 방식으로전도성박막패턴을형성할때, 포토레지스트에변질이나물리적인손상으로인한패턴불량발생을억제하기위한것이다. 본발명은나노소재를함유하는전도성박막의패터닝용감광고분자로서, 물리적경화제와비가교성고분자수지를함유하는감광고분자를사용한다. 본발명은기판위에물리적경화제와비가교성고분자수지를함유하는감광고분자를도포하여감광고분자층을형성하는단계, 상기감광고분자층위에나노소자를함유하는전도성박막을형성하는박막형성단계, 개방부가형성된마스크를이용하여상기감광고분자층을노광하는노광단계, 및상기감광고분자층을현상액으로현상하여비노광된고분자층부분과, 상기비노광된고분자층상부의전도성박막부분을제거하여전도성박막패턴을형성하는패턴형성단계를포함하는전도성박막패턴의형성방법및 그방법으로제조된전도성기판을제공한다.
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