公开(公告)号：KR100705797B1

公开(公告)日：2007-04-13

申请号：KR1020060048802

申请日：2006-05-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 문원규 ,  이상훈 ,  한경남 ,  박준식 ,  문찬우

IPC: C12N1/00 ,  C12N11/00

Abstract: 본 발명은 흡착형 마이크로 그리퍼 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 제 1 층과 제 2 층이 순차적으로 형성되어 있고; 상기 제 1 층을 관통하는 제 1 관통홀이 형성되어 있고; 상기 제 2 층에 상기 제 1 관통홀과 연통되어 있는 제 2 관통홀이 형성되어 이루어진다.
따라서, 본 발명은 그립면에 공기를 흡입할 수 있는 관통홀을 구비하여, 세포와 같은 미세 대상물을 그립할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 관통홀 주위의 그립면에 트랜치(Trench)를 형성하여, 트랜치 주위의 돌출부위로 대상물을 가이드하여 보다 정확히 대상물을 그리핑할 수 있는 효과가 있다.
게다가, 본 발명은 SOI 기판을 이용하여, 흡착으로 대상물을 그립할 수 있는 그리퍼를 쉽게 제조할 수 있는 효과가 있다.
흡착, 그리퍼, 관통홀, 공기, 흡입, 배출

Abstract translation: 本发明涉及一种吸附微夹钳及其制造方法，其中依次形成第一层和第二层; 形成穿过第一层的第一通孔; 与第一通孔连通的第二通孔形成在第二层中。