公开(公告)号：KR100623920B1

公开(公告)日：2006-09-19

申请号：KR1020050061331

申请日：2005-07-07

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 조진우 ,  황규호

IPC: G01R1/067

Abstract: 본 발명은 하이브리드형의 탐침 교체형 프로브카드 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 하이브리드 탐침 구조물의 상부 탐침부와 하부 스프링부를 각각 별도로 제작하고 중간에서 소켓 구조물로 상호 조립하는 프로브카드 제작 방법에 관한 것이다.
본 발명의 하이브리드형의 탐침 교체형 프로브카드 및 그 제작 방법은 상부 탐침부를 제작하는 단계, 하부 스프링부를 제작하는 단계 및 상기 상부 탐침부와 하부 스프링부를 조립하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 하이브리드형의 탐침 교체형 프로브카드 및 그 제작 방법은 상부 탐침부와 하부 스프링부를 분리하여 제작하고 소켓 구조물을 이용하여 상호 조립함으로써 탐침부가 파괴되더라도 새로운 탐침부로 대체가 가능하기 때문에 실시간으로 수리가 용이한 장점이 있다.
또한, 상부 탐침부와 하부 스프링부를 각각 다른 도금재질로 제작함으로써 탐침 조립시 캐리어에 인가되는 하중을 완화하고 스프링부의 설계 자유도를 확보할 수 있는 효과가 있다.
프로브카드, 탐침, 조립식, MEMS

Abstract translation: 所述的本发明中，更具体地，相互组装上部探头部件的探针卡制造方法和下部弹簧，分别创建和插座结构在探针上，一个可更换的探针卡和混合的制造方法中的混合探测器结构的中间分开的部分 它涉及。