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公开(公告)号：KR1020010078652A
公开(公告)日：2001-08-21
申请号：KR1020000006057
申请日：2000-02-09
IPC: H01L23/52
Abstract: PURPOSE: A method for packaging a micro structure is provided to use an inexpensive plastic package of a surface mounted device type instead of a dual in-line package by packaging a portion moving in devices like an acceleration sensor, an angular velocity sensor and an actuator in a wafer level. CONSTITUTION: A micro structure is composed of a structure wafer and a cover wafer(40) on the structure wafer. A silicon direct bonding wafer has a silicon layer(30) having the same thickness as the structure and a sacrificial layer(31) between the silicon layer and the wafer. The sacrificial layer is etched to make the structure move. The cover wafer having an adhesion layer(44) is bonded to an upper portion of the silicon direct bonding wafer prepared by an electrical process. The cover wafer comes to have a desired thickness by using lapping and a chemical mechanical polishing(CMP) process. A through hole(46) is formed in the bonded cover wafer by a silicon anisotropical etching process. Metal layers(48) are formed on the cover wafer having the through hole and in a pad on the structure wafer. The wafer completed by an electrical process is sawed into unit devices. Lead frames are bonded to the unit devices, and interconnected by metal wires. A molding process using plastic is performed.
Abstract translation: 目的：提供一种用于包装微结构的方法，以便通过将在诸如加速度传感器，角速度传感器和致动器之类的装置中移动的部分包装来使用表面安装装置类型而不是双列直插式封装的便宜的塑料封装 在晶片级。 构成：微结构由结构晶片和结构晶片上的覆盖晶片（40）组成。 硅直接接合晶片具有与该结构具有相同厚度的硅层（30）和在硅层和晶片之间的牺牲层（31）。 牺牲层被蚀刻以使结构移动。 具有粘合层（44）的覆盖晶片与通过电工艺制备的硅直接接合晶片的上部接合。 通过研磨和化学机械抛光（CMP）工艺，覆盖晶片具有期望的厚度。 通过硅各向异性蚀刻工艺在接合的覆盖晶片中形成通孔（46）。 金属层（48）形成在具有通孔的覆盖晶片上并且在结构晶片上的焊盘中。 通过电气工艺完成的晶片被锯成单元装置。 引线框架结合到单元设备，并通过金属线互连。 执行使用塑料的成型工艺。
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公开(公告)号：KR100327619B1
公开(公告)日：2002-03-15
申请号：KR1020000006053
申请日：2000-02-09
IPC: G01P15/08
Abstract: 본 발명의 반도체 실리콘 가속도센서는 측정하고자 하는 외부가속도가 발생하였을 때 가속도 크기에 비례하는 힘을 발생시키는 중앙 부분의 X, Y축 대칭으로 이루어진 네 부분의 진동질량부(20)와, 상기 진동질량을 지지대에 연결하고 쉽게 움직일 수 있도록 해주는 스프링부(22)와, 진동질량의 가속도에 비례하는 변위의 크기를 전기적 신호로 변환시켜주는 진동질량에 있는 빗살모양의 이동전극부(24) 및 외측 지지대에 위치하는 고정전극부(26)로 구성되어 진다.
본 발명에 의하면 타축가속도에 의해 센서구조물이 움직이더라도 이것이 구조적으로 자체 상쇄됨으로써 센서의 최종출력에는 영향을 미치지 않을 뿐만 아니라, 과대변위에 따른 센서파손을 막을 수 있다.-
公开(公告)号：KR100324716B1
公开(公告)日：2002-02-16
申请号：KR1020000006057
申请日：2000-02-09
IPC: H01L23/52
Abstract: 본 발명은 반도체의 미세구조물을 패키징하는 방법에 관한 것으로서 보다 구체적으로는 구조물의 움직임을 가능하게 하는 구조물 웨이퍼의 희생층을 먼저 식각한 후, 덮게 웨이퍼로 접합한 상태에서 스루홀 형성 및 금속화 공정을 행하는 미세구조물의 패키징에 관한 것이다.
본 발명에 의하면 본딩패드의 식각으로 인한 수율저하를 방지함과 전극형성 공정을 단순화시킴으로 동시에 제작비면에서도 저렴한 신규한 미세구조물 패키징 방법을 제공할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020010086618A
公开(公告)日：2001-09-15
申请号：KR1020000006053
申请日：2000-02-09
IPC: G01P15/08
CPC classification number: G01P15/10 , B06B1/045 , G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: PURPOSE: An apparatus composed of a semiconductor silicon for sensing an acceleration is provided to prevent a damage due to the overrange without interfering the final output of a sensor by compensating for a displacement in itself even if the structure of the sensor is moved. CONSTITUTION: Four vibration-mass unit(20) generate a force proportional to the magnitude of an acceleration when an external acceleration to be measured is generated, wherein the center of each vibration-mass unit is composed of crossed X and Y axes. A spring unit(22) connects the vibration-mass units(20) to a supporting member to make it to easily be moved. A mobile electrode(24) converts into an electrical signal the magnitude of a displacement proportional to the acceleration of the vibration-mass units(20). The mobile electrode(24) is provided on the vibration-mass units(20) and a fixed electrode(26) is placed on an outer supporting member.
Abstract translation: 目的：提供一种由用于感测加速度的半导体硅组成的装置，以便即使传感器的结构移动，也可以通过补偿位移本身来防止由于超范围造成的损坏而不干扰传感器的最终输出。 构成：当产生要测量的外部加速度时，四个振动质量单元（20）产生与加速度的大小成比例的力，其中每个振动质量单元的中心由交叉的X和Y轴组成。 弹簧单元（22）将振动质量单元（20）连接到支撑构件以使其容易地移动。 移动电极（24）将与振动质量单元（20）的加速度成比例的位移的大小转换为电信号。 移动电极（24）设置在振动质量单元（20）上，固定电极（26）被放置在外部支撑构件上。
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公开(公告)号：KR101125134B1
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR1020090133650
申请日：2009-12-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 세포 대사정보 측정장치의 온도센서를 개시한다. 본 발명은, 시료에 삽입되어 상기 시료 속의 세포의 온도를 측정하고, 상기 세포의 온도에 따라 저항값이 가변하여 상기 세포에 형성되는 전압을 측정하는 온도측정부와, 상기 온도측정부로 전류를 인가하고, 상기 온도측정부에서 측정된 전압을 전송받아 외부로 전송하는 전류인가부와, 상기 전류인가부와 전기적으로 연결되어 상기 인가되는 전류를 제어하고, 상기 전류인가부에서 외부로 전송되는 상기 전압을 전송받아 상기 전압을 근거로 상기 저항값을 계산하고, 계산된 상기 저항값을 근거로 상기 세포의 온도를 산출하는 전류제어부를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101066109B1
公开(公告)日：2011-09-20
申请号：KR1020080133616
申请日：2008-12-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: A61B10/00
Abstract: 본 발명은 피부 특성 측정장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 피부의 광학적 특성 차이를 이용하여 피부의 두께, 밀도, 성분 등을 광학적으로 측정할 수 있으며, 한번의 측정으로 다양한 거리에 따른 측정 데이터를 얻을 수 있는 광을 이용한 피부 특성 측정장치에 관한 것이다.
본 발명의 피부 특성 측정장치는 피부 내부로 광을 조사하기 위한 적어도 하나 이상의 광원; 상기 광원을 중심으로 방사상 형태로 형성되며, 광원으로부터 외주면까지의 직선거리가 서로 다른 공간으로 구획되는 복수의 셀; 및 상기 셀의 돔 표면 또는 셀 내부에 구비되어 피부에서 반사 및 흡수된 광을 감지하는 검출기를 포함함에 기술적 특징이 있다.
피부 특성, 피부 두께, 광학적 측정, 근적외선-
公开(公告)号：KR1020110076593A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：KR1020090133339
申请日：2009-12-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A rotary type wavelength selection system using a laminated thin film filter is provided to measure easily various samples by rotating a laminated thin film filter. CONSTITUTION: A laminated thin film filter(130) is separated in a predetermined interval from a light source unit(110). The laminated thin film filter is arranged in a rotatable state. A rotary type wavelength selection system includes an optical detector(140). The optical detector is used for detecting the light that passes the laminated thin film filter. The laminated thin film filter includes the optical detector.
Abstract translation: 目的：提供一种使用层叠薄膜滤光片的旋转式波长选择系统，通过旋转层压薄膜滤光片来容易地测量各种样品。 构成：层叠薄膜过滤器（130）以预定的间隔从光源单元（110）分离。 叠层薄膜过滤器布置成可旋转状态。 旋转型波长选择系统包括光学检测器（140）。 光检测器用于检测通过层压薄膜滤光片的光。 层叠薄膜滤光器包括光学检测器。
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公开(公告)号：KR1020100075008A
公开(公告)日：2010-07-02
申请号：KR1020080133594
申请日：2008-12-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N33/483 , G01N33/48 , G01N30/30
Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring cell metabolic information is provided a step of optically measuring pH, oxygen concentration, and carbon dioxide. CONSTITUTION: An apparatus for measuring cell metabolic information comprises: plural wells(120) which is arranged in a microplate in order and contains cells or culture medium; a protrusion(140) having an insertion at a certain region of the protruded portion; a thermometer(130) for independently measuring emitted heat from cells or culture medium; and a light source plate for irradiating light to each well. The protrusion is extended to central shaft of the well. Thermometer is a thermocouple thermometer. The light source is cold cathode fluorescent lamp, hot-cathode tube lamp, or plural LED arrays.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量细胞代谢信息的装置，其光学测量pH，氧浓度和二氧化碳。 构成：用于测量细胞代谢信息的装置包括：依次排列在微板中并含有细胞或培养基的多个孔（120） 突起（140），其在所述突出部的某一区域具有插入; 用于独立地测量从细胞或培养基发出的热的温度计（130）; 以及用于向每个孔照射光的光源板。 突起延伸到井的中心轴。 温度计是一个热电偶温度计。 光源是冷阴极荧光灯，热阴极管灯或多个LED阵列。
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公开(公告)号：KR100942440B1
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：KR1020070110075
申请日：2007-10-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로 플레이트의 시료들에 대해 한번에 촬영된 이미지로 각각의 pH, O
2 농도, CO
2 농도 등의 정보를 얻을 수 있는 시료분석 장치에 대한 것으로서, 시료를 담기 위한 복수의 웰이 위치하는 웰 유닛부 및 상기 웰 유닛부의 측면에 결합되는 색상 참조부로 구성되는 마이크로 플레이트, 상기 마이크로 플레이트의 웰 각각에 균일한 백색 광을 조사하는 플레이트형 광원 유닛, 상기 플레이트형 광원 유닛의 반대편에 위치하고 상기 마이크로 플레이트 전체 이미지를 얻기 위한 이미지 센서 및 상기 이미지 신호의 각 웰에 대응되는 영역의 RGB값을 산출하고, 상기 색상 참조부에 대응되는 영역의 이미지 신호를 참조하여 상기 RGB값 각각을 보정하고, 상기 보정된 RGB값을 상기 제어부에 저장된 RGB 변화표와 비교하여 상기 웰 각각의 시료에 대한 정보를 산출하여 출력하는 제어부를 포함한다.
pH, 농도, 마이크로 플레이트, 균일광, 보정 -
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