中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

5 records (took 0.016 seconds)

    미세 가공장치
    4.
    发明公开
    미세 가공장치 无效
    微生物装置

    公开(公告)号：KR1020150141284A

    公开(公告)日：2015-12-18

    申请号：KR1020140069661

    申请日：2014-06-09

    Applicant: 조선대학교산학협력단

    Inventor： 박정우 ,  정윤준 ,  조성근 ,  김기권

    IPC: H01L21/463 ,  H01L21/324

    CPC classification number: H01L21/67248 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/68714

    Abstract: 본발명은미세가공장치에관한것으로서, 프레임에수평상으로설치된베이스스테이지와, 베이스스테이지위에설치되며상면의표면온도를조정할수 있도록된 온도조정스테이지와, 온도조정스테이지의표면온도를제어하는온도조정부와, 온도조정스테이지의상면에안착된가공대상물의표면을가공하는가공기와, 설정된가공프로세스에의해온도조정스테이지의표면온도가설정된온도를유지하도록온도조정부의구동을제어하고, 가공기의구동을제어하는제어부를구비한다. 이러한미세가공장치에의하면, 가공대상물이안착되는스테이지의온도를조정하여가공대상물의물성을조정하여원하는가공조건에서가공을수행할수 있는장점을제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于微加工的装置，包括：水平安装在框架上的底座; 温度调节台，安装在基台上，并且被配置为调节其上表面的表面温度; 用于控制温度调节级的表面温度的温度调节单元; 处理装置，用于处理设置在温度调节级的上表面上的待处理物体的表面; 以及控制单元，用于控制温度调节单元的操作，使得温度调节级的表面温度通过设定的处理过程保持设定温度，并且控制处理设备的操作。 因此，用于微加工的装置调节设置有待处理物体的台的温度，以便调节待处理物体的物理特性，从而可以在期望的加工条件下对物体进行加工。

Patent Agency Ranking