코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치
    1.
    发明公开
    코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치 有权
    同时测量激光的浓度和使用角度粗糙度和波长板的均匀性的设备

    公开(公告)号:KR1020100043450A

    公开(公告)日:2010-04-29

    申请号:KR1020080102488

    申请日:2008-10-20

    Abstract: PURPOSE: A device for measuring concentricity and perpendicularity using a corner cube prism and a wavelength plate is provided to measure the concentricity by detecting an electric signal corresponding to location and quantity of reflection light. CONSTITUTION: A device for measuring concentricity and perpendicularity using a corner cube prism and a wavelength plate includes a laser source part(11), a wavelength plate(23), a reflective unit, and a signal detecting unit. The laser source part generates laser light polarized to a sample. The wavelength plate ahs an incident surface(23a) in which laser light partially reflects. The reflective unit includes the corner cube prism(21). The signal detecting unit detects the reflective light with an electric signal.

    Abstract translation: 目的:提供使用角隅棱镜和波片测量同心度和垂直度的装置,通过检测与反射光的位置和数量相对应的电信号来测量同心度。 构成:使用角隅棱镜和波片测量同心度和垂直度的装置包括激光源部分(11),波长板(23),反射单元和信号检测单元。 激光源部分产生偏振到样品的激光。 波长板是激光部分反射的入射面(23a)。 反射单元包括角立方棱镜(21)。 信号检测单元用电信号检测反射光。

    코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치
    2.
    发明授权
    코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치 有权
    同时测量激光的浓度和使用角度粗糙度和波长板的均匀性的设备

    公开(公告)号:KR100991353B1

    公开(公告)日:2010-11-02

    申请号:KR1020080102488

    申请日:2008-10-20

    Abstract: 개시된 코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치는 파장판과 코너큐브프리즘(21)의 입사 표면(21a)을 투과한 후 직각 반사면(21b,21c)을 경유하여 반사하는 반사광의 위치와 광량에 대응한 전기신호를 검출하고 그 반사광의 입사광 광축에 대한 이탈 정도를 나타내는 동심도를 계산할 수 있다. 또한 파장판의 입사 표면을 반사한 반사광의 위치와 광량에 대응한 전기신호를 검출하여 그 반사광의 입사광 광축에 대한 기운 정도를 나타내는 직각도를 계산할 수 있다. 동심도 부정확에 기인하는 반사광과 직각도 부정확에 기인하는 반사광은 서로 다른 검광각도를 가진 검광자를 각각 통과하여 그 동심도와 직각도를 동시에 측정할 수 있는 정보를 제공한다. 따라서 라인형 스캔센서 또는 면적형 스캔센서와 같은 전기전자부품을 하나의 모듈로써 기준물 또는 피측정물의 어느 한쪽에만 설치할 수 있는 최적의 배치설계가 가능하여 비행기 동체와 같은 절연 및 방폭구조의 제약된 환경에 적합한 동심도 및 직각도 측정을 위한 레이저 측정장비를 제공한다.
    코너큐브프리즘, 파장판, 레이저, 스캔센서, 동심도, 직각도

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