公开(公告)号：KR101530898B1

公开(公告)日：2015-06-23

申请号：KR1020127007041

申请日：2009-11-23

Applicant: 지고 코포레이션

Inventor： 데이빗슨마크 ,  라이스너얀 ,  드그룻피터 ,  꼴로나드레가하비에르 ,  덱레슬리엘.

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0209 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02068 ,  G01B9/02077 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  Y10T29/49002

Abstract: 본발명의장치는검사대상체로부터의검사광을기준광과조합하여검출기상에간섭패턴을형성하는광학기기를구비하는광대역주사간섭계시스템을포함한다. 본발명의장치는공통의광원으로부터검출기까지검사광 및기준광 사이의광로차(OPD)를주사하도록구성된스테이지와, 일련의 OPD 증분(OPD increment)의각각에대한간섭패턴을기록하기위한검출기를구비하는검출기시스템을포함한다. 각각의 OPD 증분의주파수는프레임레이트를규정한다. 광학기기는주사를행함에따라 OPD에서의변화를나타내는 2개이상의모니터간섭신호를생성하도록되어있다. 검출기시스템은모니터간섭신호를기록하도록되어있다. 본발명의장치는프레임레이트보다큰 주파수에서 OPD 증분의섭동에대한감도로 OPD 증분에관한정보를판정하도록구성된프로세서를포함한다.

公开(公告)号：KR1020120053043A

公开(公告)日：2012-05-24

申请号：KR1020127007041

申请日：2009-11-23

Applicant: 지고 코포레이션

Inventor： 데이빗슨마크 ,  라이스너얀 ,  드그룻피터 ,  꼴로나드레가하비에르 ,  덱레슬리엘.

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0209 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02068 ,  G01B9/02077 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  Y10T29/49002

Abstract: 본발명의장치는검사대상체로부터의검사광을기준광과조합하여검출기상에간섭패턴을형성하는광학기기를구비하는광대역주사간섭계시스템을포함한다. 본발명의장치는공통의광원으로부터검출기까지검사광 및기준광 사이의광로차(OPD)를주사하도록구성된스테이지와, 일련의 OPD 증분(OPD increment)의각각에대한간섭패턴을기록하기위한검출기를구비하는검출기시스템을포함한다. 각각의 OPD 증분의주파수는프레임레이트를규정한다. 광학기기는주사를행함에따라 OPD에서의변화를나타내는 2개이상의모니터간섭신호를생성하도록되어있다. 검출기시스템은모니터간섭신호를기록하도록되어있다. 본발명의장치는프레임레이트보다큰 주파수에서 OPD 증분의섭동에대한감도로 OPD 증분에관한정보를판정하도록구성된프로세서를포함한다.