公开(公告)号：KR1020160093778A

公开(公告)日：2016-08-09

申请号：KR1020150014278

申请日：2015-01-29

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 김홍집 ,  김용구

IPC: H05H1/24 ,  B01D53/32

CPC classification number: H05H1/24 ,  B01D53/32

Abstract: 본발명은고가의재료없이도정화효과가뛰어난평판형플라즈마장치및 이를포함하는유해가스처리장치를위하여, 두개의전극과, 상기전극사이에구비되어상기두 개의전극사이에기체가유동하는통로를형성하는스페이서와, 상기스페이서와상기두 개의전극중 어느하나사이에구비되며소다라임계유리를포함하는유리층을포함하는평판형저온플라즈마장치를제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种扁平型低温等离子体装置，其具有优良的净化效果而不需要昂贵的材料，而且涉及包含该平板型低温等离子体装置的有害气体处理装 扁平型低温等离子体器件包括：两个电极; 安装在所述电极之间并被构造成在所述两个电极之间形成气流路径的间隔件; 以及安装在间隔件和两个电极中的任一个之间并包括钠钙基玻璃的玻璃层。