전기장을 이용한 가스센서, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센싱방법
    1.
    发明授权
    전기장을 이용한 가스센서, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센싱방법 有权
    使用电场的气体传感器的结构,其制造方法及使用其的气体感测方法

    公开(公告)号:KR101252232B1

    公开(公告)日:2013-04-05

    申请号:KR1020100052332

    申请日:2010-06-03

    Abstract: 본 발명은 전기장을 이용한 가스센서, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센싱방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 가스센서는, 전기장 인가용 제1전극판과; 상기 제1전극판의 상부면에 접합된 제1절연판과; 상기 제1절연판의 상부면에 배치되며, 센싱전극들이 패터닝되고 상기 센싱전극들 사이에 가스흡착용 물질이 로딩된 센싱기판과; 상기 제1절연판과는 일정간격 이격되어, 상기 제1절연판과 대향하도록 배치되는 제2절연판과; 상기 제2절연판의 상부면에 접합되는 전기장 인가용 제2전극판을 구비한다. 본 발명에 따르면, 상온에서 사용이 가능하며, 고민감성 및 고회복성을 가지는 가스센싱이 가능하다.

    전기장을 이용한 가스센서, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센싱방법
    2.
    发明公开
    전기장을 이용한 가스센서, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센싱방법 有权
    使用电场的气体传感器结构及其制造方法和使用该方法的气体感测方法

    公开(公告)号:KR1020110132794A

    公开(公告)日:2011-12-09

    申请号:KR1020100052332

    申请日:2010-06-03

    Abstract: PURPOSE: A gas sensor using an electric field, a manufacturing method thereof, and a gas sensing method using the same are provided to improve sensitivity and recoverability using an electric field. CONSTITUTION: A gas sensor(100) using an electric field comprises a first electrode plate(110a), a first insulating plate(120a), a sensing substrate(130), a second insulating plate(120b), and a second electrode plate(110b). The first insulating plate is attached on the top surface of the first electrode plate. The sensing substrate is arranged on the top of the first insulating plate. Sensing electrodes are patterned on the sensing substrate. Gas adsorption materials are loaded between the sensing electrodes. The second insulating plate is separated from the first insulating plate. The second electrode plate is attached on the top surface of the second insulating plate.

    Abstract translation: 目的:提供使用电场的气体传感器,其制造方法和使用该气体传感器的气体感测方法,以提高使用电场的灵敏度和可恢复性。 构成:使用电场的气体传感器(100)包括第一电极板(110a),第一绝缘板(120a),感测基板(130),第二绝缘板(120b)和第二电极板 110B)。 第一绝缘板安装在第一电极板的顶表面上。 感测基板设置在第一绝缘板的顶部。 感测电极在感测基板上图案化。 气体吸附材料装载在传感电极之间。 第二绝缘板与第一绝缘板分离。 第二电极板安装在第二绝缘板的顶表面上。

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