公开(公告)号：KR1020150124971A

公开(公告)日：2015-11-06

申请号：KR1020157026208

申请日：2014-02-21

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 브래디그레고리 ,  쉬쉐그로브안드레이브이 ,  로터로렌스디. ,  쇼그네시데릭 ,  쉬세메리닌아나토리 ,  베젤일리야 ,  아레인무잠밀 ,  바실리에프아나토리 ,  앨런제임스 ,  슐레포브올레그 ,  힐앤드류 ,  바카르오하드 ,  마르코비쯔모쉬 ,  이스-살롬야론 ,  셀라일란 ,  마나쎈암논 ,  스비저알렉산더 ,  코크로브막심 ,  아브라모프아비 ,  티시블레스키올레그 ,  칸델다니엘 ,  기노브커마크

IPC: F21V13/00 ,  F21V13/12 ,  F21V13/08 ,  G02B6/293 ,  G02B6/35 ,  F21S2/00 ,  F21Y101/02

CPC classification number: G01J3/10 ,  F21V13/00 ,  F21V13/08 ,  F21V13/12 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/12 ,  G02B6/29332 ,  G02B6/29362 ,  G02B6/29388 ,  G02B6/29395 ,  G02B6/3508 ,  G02B6/353 ,  H01J65/04

Abstract: 본개시는조명을광 계측을위한측정헤드로제공하는시스템에관한것이다. 본개시의일부실시예에서, 복수의조명원으로부터조명빔은하나이상의선택된파장의조명을측정헤드로전달하기위해결합된다. 본개시의일부실시예에서, 측정헤드로전달된조명의세기및/또는공간적간섭이제어된다. 본개시의일부실시예에서, 하나이상의선택된파장의조명이연속하는파장범위의조명을제공하기위해구성된광대역조명원으로부터전달된다.

公开(公告)号：KR1020160055908A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：KR1020167009901

申请日：2014-09-15

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 왕데이빗와이. ,  플록클라우스 ,  로터로렌스디. ,  크리쉬난샨카르 ,  드비어요하네스디. ,  필립캐털린 ,  브레이디그레고리 ,  아라인무잠밀 ,  스케그로프안드레이

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/21 ,  H01L21/02 ,  H01L21/268

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01B11/0641 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  H01L22/12

Abstract: 장치는, (i) 딥(deep) 자외선파장으로부터적외선파장까지의범위를가지고선택가능한다수의파장에서조명빔을제공하기위한밝은광원, (ii) 입사각(AOI) 및/또는방위각(AZ)의선택가능한세트와복수의편광상태에서샘플을향해조명빔을지향시키기위한조명광학장치 - 조명광학장치는, 선택가능한 AOI/AZ 세트의각각에서샘플에대한조명빔의스팟사이즈를제어하기위한아포다이저를포함함 - , (iii) 선택가능한 AOI/AZ 세트와편광상태의각각에서조명빔에응답하여샘플로부터의출력빔을, 출력빔에기초하여출력신호또는이미지를생성하는검출기를향해지향시키기위한수집광학장치, (v) 출력신호또는이미지에기초한샘플의피쳐의특성을묘사하기위한검출기를포함한다.

Abstract translation: 一种装置包括（i）用于提供在从深紫外波长到红外波长的范围内可选择的多个波长的照明光束的明亮光源，（ii）照明光学器件，用于将照明光束以可选择的角度集合 （AOI）或方位角（AZ）和极化状态以提供光谱椭偏仪，其中照明光学器件包括用于控制每个可选AOI / AZ组上样品上的照明光束的光斑尺寸的变迹器，（iii ）收集光学器件，用于响应于在每个可选择的AOI / AZ集合处的照明光束和朝向基于输出光束产生输出信号或图像的检测器的偏振状态来引导来自样品的输出光束，以及（v） 控制器，用于基于输出信号或图像来表征样本的特征。