公开(公告)号：KR1020170063938A

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：KR1020177012165

申请日：2015-10-02

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 바재파람빌지젠 ,  자오구오헹 ,  카발드지에프다니엘이바노프 ,  로마노프스키아나톨리 ,  말리브이반 ,  볼터스크리스챤 ,  크렌조지 ,  비엘락스테판 ,  화이트사이드브렛 ,  페티본도날드

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G06T7/00

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/8896 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/12 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/10004 ,  G06T2207/30148

Abstract: 웨이퍼스캐닝시스템은유효스폿크기를줄이는이미징수집옵틱스를포함한다. 더작은스폿크기는스폿의면적에비례하여표면에의해산란된광자의수를감소시킨다. 공기산란이또한감소된다. TDI는웨이퍼의선형움직임방향으로통합된복수의이미지신호에기초하여웨이퍼이미지를생성하기위해사용된다. 조명시스템은웨이퍼를광으로가득히비추고, 스폿을생성하는작업은이미징수집옵틱스에할당된다.

Abstract translation: 晶圆扫描系统包括成像收集光学器件以减小有效光点尺寸。 较小的光点尺寸减少了与表面散射的光子数量成正比的区域。 空气散射也减少。 TDI用于基于在晶片的线性运动方向上集成的多个图像信号来生成晶片图像。 照明系统用光照射晶片，创建点的任务分配给成像收集光学器件。