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公开(公告)号：KR1020140061476A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：KR1020147008468
申请日：2012-09-06
Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G02B7/008 , G01N21/9501 , G01N2201/021 , H01L21/67103 , H01L21/68792 , Y10T403/21
Abstract: 장착된 기계적 컴포넌트 상의 열 영향에 대한 수동적 보정을 제공하기 위한 장치가 본 명세서에 개시된다. 수동적 열 영향 보정 장치를 이용하는 웨이퍼 검사 시스템이 또한 개시된다.
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