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公开(公告)号：KR1020090117900A
公开(公告)日：2009-11-13
申请号：KR1020097020001
申请日：2008-02-26
Applicant: 코닝 인코포레이티드
CPC classification number: G01B11/16 , G01N21/958 , G01N2021/9513 , G02B13/22 , G02F1/1303 , G02F1/1309
Abstract: A distortion measurement and inspection system is presented. In one embodiment, a vision system is implemented. The vision system performs dual focal plane imaging where simultaneous imaging of two focal planes is simultaneously performed on a sample substrate and a reference substrate to determine distortion. In addition, a highly reflective background is implemented to provide for more resolution during distortion measurement.
Abstract translation: 提出了一种失真测量和检测系统。 在一个实施例中，实现视觉系统。 视觉系统执行双焦平面成像，其中在样本基板和参考基板上同时执行两个焦平面的同时成像以确定变形。 此外，实现高反射背景以在失真测量期间提供更多的分辨率。
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公开(公告)号：KR1020140035539A
公开(公告)日：2014-03-21
申请号：KR1020147005456
申请日：2008-02-26
Applicant: 코닝 인코포레이티드
CPC classification number: G01B11/16 , G01N21/958 , G01N2021/9513 , G02B13/22 , G02F1/1303 , G02F1/1309
Abstract: 왜곡 측정 및 검사 시스템이 제공된다. 1실시에 있어서, 비전 시스템이 실시된다. 그 비전 시스템은 이중 초점면 이미징을 수행하며, 왜곡을 결정하기 위해 샘플 기판과 기준 기판 상에 2개의 초점면의 동시성 이미징이 동시에 수행된다. 또한, 왜곡 측정 동안 보다 높은 해상도를 제공하기 위해 고반사 배경이 실시된다.
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公开(公告)号：KR101421922B1
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：KR1020147005456
申请日：2008-02-26
Applicant: 코닝 인코포레이티드
CPC classification number: G01B11/16 , G01N21/958 , G01N2021/9513 , G02B13/22 , G02F1/1303 , G02F1/1309
Abstract: 왜곡 측정 및 검사 시스템이 제공된다. 1실시에 있어서, 비전 시스템이 실시된다. 그 비전 시스템은 이중 초점면 이미징을 수행하며, 왜곡을 결정하기 위해 샘플 기판과 기준 기판 상에 2개의 초점면의 동시성 이미징이 동시에 수행된다. 또한, 왜곡 측정 동안 보다 높은 해상도를 제공하기 위해 고반사 배경이 실시된다.
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公开(公告)号：KR101431859B1
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：KR1020097020001
申请日：2008-02-26
Applicant: 코닝 인코포레이티드
CPC classification number: G01B11/16 , G01N21/958 , G01N2021/9513 , G02B13/22 , G02F1/1303 , G02F1/1309
Abstract: 왜곡 측정 및 검사 시스템이 제공된다. 1실시에 있어서, 비전 시스템이 실시된다. 그 비전 시스템은 이중 초점면 이미징을 수행하며, 왜곡을 결정하기 위해 샘플 기판과 기준 기판 상에 2개의 초점면의 동시성 이미징이 동시에 수행된다. 또한, 왜곡 측정 동안 보다 높은 해상도를 제공하기 위해 고반사 배경이 실시된다.
비전 시스템, 샘플 기판, 왜곡, 초점면, 직교 편광, 이미지 평면
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