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公开(公告)号：KR1020010023452A
公开(公告)日：2001-03-26
申请号：KR1020007002095
申请日：1998-08-05
Applicant: 코닝 인코포레이티드
Inventor： 다우슨-엘리,데이비드,에프. , 트루스데일,칼톤,엠.
IPC: C01B15/14
CPC classification number: C01B21/0823 , C23C16/308
Abstract: 본발명은실라잔및 실록사잔으로이루어진군으로부터선택된화합물의증기상기체흐름을제공하는단계를포함하는실리콘옥시니트라이드의제조방법에관한것이다. 밀폐된, 가열된반응장소도또한제공된다. 증기상기체흐름은상기밀폐된가열된반응장소로운반되며, 여기서, 산소의수준은실리콘옥시니트라이드입자의형성을촉진시키도록엄격하게조절된다.
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