표면 형태 변화를 측정하기 위한 방법 및 장치
    6.
    发明公开
    표면 형태 변화를 측정하기 위한 방법 및 장치 无效
    用于测量表面形状剖面的方法和装置

    公开(公告)号:KR1020100103500A

    公开(公告)日:2010-09-27

    申请号:KR1020107012621

    申请日:2008-11-06

    CPC classification number: G01B11/245 G01B11/306

    Abstract: 재료 시트 표면의 형태 변화를 측정하기 위한 장치는 재료 시트의 표면에 유도된 광선을 제공하기 위한 광원; 상기 광선이 표면에 유도될 때 다수의 위치들에서 표면 위에 입사하고, 다수의 위치들 각각에서 반사광을 생성하도록 상기 재료 시트의 표면 위를 지나는 광원을 분석하기 위해 상기 광원에 연결된 선형 분석단; 상기 다수의 위치들 각각에서 생성된 반사광을 선택적으로 가로채기 위해 미리 설정된 위치에 배치된 다수의 광 수신기; 광원과 다수의 위치들 각각에서 생성된 반사광을 가로채는 다수의 광 수신들 중 선택된 광 수신기 사이의 위치 차이에 대한 정보를 수신하도록 구성된 데이터 획득 장치; 및 상기 위치 차이 정보와 재료 시트 표면의 형태 변화를 연관시키도록 구성된 데이터 분석 장치를 포함한다.

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