표면 결함을 감소시키기 위한 방법

    公开(公告)号:KR102252254B1

    公开(公告)日:2021-05-17

    申请号:KR1020187025478

    申请日:2017-08-09

    Abstract: 비-결함기판을제조하기위해강화된기판내의결함있는영역을제거하는방법이제공된다. 상기방법은강화된결함있는기판을적어도하나의 1가염을함유하는가열된염 욕과접촉시키는단계, 및상기강화된기판을상기욕으로부터제거하는단계를포함한다. 상기강화된기판은, 상기염 욕과접촉되기전에, 적어도하나의결함있는영역및 일이상의비-결함영역을갖는결함있는기판이다. 상기염 욕으로부터제거할때, 적어도하나의결함있는영역은제거되거나실질적으로제거되어비-결함기판을제조한다.

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