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公开(公告)号:KR1020010072337A
公开(公告)日:2001-07-31
申请号:KR1020017001667
申请日:1999-07-16
Applicant: 코닝 인코포레이티드
Inventor: 하우토프,다니엘,더블유. , 스톤,존,Ⅲ , 왈렌,조셉,엠.
IPC: C03B19/14
Abstract: 컨테이너(28)내의 제1액체(30)가 버너(14)로 이동된다. 그 후, 다른 컨테이너(38)내의 제2액체(34)가 버너(14)로 이동된다. 그 후, 상기 버너에서 기판(36) 상의 실리카(36)로서 증착되는 수트가 제조된다.