公开(公告)号：KR101242789B1

公开(公告)日：2013-03-12

申请号：KR1020077009117

申请日：2005-09-20

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 쿨라웨익,앤드류더블유. ,  말론,조셉씨. ,  매클리맨스,도날드지. ,  트로놀론,마크제이.

IPC: G01R23/00 ,  G01R23/12

CPC classification number: G01B9/02004 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02069 ,  G01B9/02079 ,  G01B2290/60

Abstract: 주파수 변이 간섭계는 각기 다른 측정 빔 주파수로 생성된 간섭 패턴의 세트로부터 강도 데이터를 수집한다. 주기함수는 측정 빔 주파수의 대응하는 범위에 걸친 상기 간섭 패턴의 세트로부터 수집된 강도 데이터에 매칭된다. 상기 각 간섭하는 측정 빔 부분간 위상 오프셋을 포함하는 로컬화된 상관관계는 상기 각 간섭하는 측정 빔 부분간 광로 길이 차에 대응하는 측정 빔 주파수에 의한 위상 변경 비율의 결정을 제공는데 사용된다.

公开(公告)号：KR1020070057253A

公开(公告)日：2007-06-04

申请号：KR1020077009117

申请日：2005-09-20

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 쿨라웨익,앤드류더블유. ,  말론,조셉씨. ,  매클리맨스,도날드지. ,  트로놀론,마크제이.

IPC: G01R23/00 ,  G01R23/12

CPC classification number: G01B9/02004 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02069 ,  G01B9/02079 ,  G01B2290/60

Abstract: A frequency-shifting interferometer gathers intensity data from a set of interference patterns produced at different measuring beam frequencies. A periodic function is matched to the intensity data gathered from the set of interference patterns over a corresponding range of measuring beam frequencies. Localized correlations involving phase offsets between the interfering portions of the measuring beam are used to inform a determination of a rate of phase change with measuring beam frequency corresponding to the optical path length difference between the interfering beam portions.

Abstract translation: 频移干涉仪从在不同测量光束频率处产生的一组干涉图案中收集强度数据。 周期函数与在相应测量光束频率范围内从干涉图案集合收集的强度数据相匹配。 使用涉及测量光束的干涉部分之间的相位偏移的局部相关来通知与测量光束频率相对应的干涉光束部分之间的光程长度差的相位变化速率的确定。