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公开(公告)号：KR102004061B1
公开(公告)日：2019-07-25
申请号：KR1020177010141
申请日：2015-10-15
Applicant: 퀄컴 인코포레이티드
Inventor： 판차와그흐리시케쉬비자이쿠마르 , 탕하오-옌 , 루이펑 , 조르제프코스타딘디미트로프 , 간티수리야프라카시 , 번즈데이비드윌리엄 , 쉐노이라빈드라바만 , 레시터존브래들리 , 쿼나이-퀘이 , 삼모우라피라스
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公开(公告)号：KR1020170066434A
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：KR1020177010141
申请日：2015-10-15
Applicant: 퀄컴 인코포레이티드
Inventor： 판차와그흐리시케쉬비자이쿠마르 , 탕하오-옌 , 루이펑 , 조르제프코스타딘디미트로프 , 간티수리야프라카시 , 번즈데이비드윌리엄 , 쉐노이라빈드라바만 , 레시터존브래들리 , 쿼나이-퀘이 , 삼모우라피라스
CPC classification number: G01S7/5208 , B06B1/0207 , B06B1/0607 , B06B1/0644 , B06B1/0666 , B06B2201/20 , B06B2201/55 , G01S7/521 , G01S15/04 , G01S15/89 , G01S15/8915 , G06F3/0412 , G06F3/0416 , G06F3/0436 , G06F2203/04101 , G06K9/0002 , G06K9/00335 , G10K11/26 , G10K11/34 , G10K11/341 , G10K11/346 , H01L41/047 , H01L41/08
Abstract: 압전마이크로기계식초음파트랜스듀서 (PMUT) 는공동상에배치된다이어프램을포함하며, 다이어프램은압전층, 송수신기회로와전기적으로커플링된제 1 전극, 및송수신기회로와전기적으로커플링된제 2 전극을포함하는압전층스택을포함한다. 제 1 전극은다이어프램의제 1 부분에배치될수 있고제 2 전극은다이어프램의분리된제 2 부분에배치될수 있다. 제 1 전극및 제 2 전극의각각은압전층의제 1 표면상에또는그 부근에배치되고, 제 1 표면은공동으로부터반대쪽에있다. PMUT 는제 1 기간동안제 1 전극을통해제 1 초음파신호들을송신하고제 2 기간동안제 2 전극을통해제 2 초음파신호들을수신하도록구성되며, 제 1 기간및 제 2 기간은적어도부분적으로중첩된다.
Abstract translation: 压电微机械超声换能器（PMUT）包括设置在所述空腔中的隔膜，所述隔膜是压电层，收发器电路和电耦合到所述第一电极，和第二电极耦合到收发器电路和电 还有一个压电叠层。 第一电极可以设置在隔膜的第一部分中，并且第二电极可以设置在隔膜的第二分离部分中。 第一电极和第二电极中的每一个都设置在压电层的第一表面上或附近，并且第一表面与空腔相对。 PMUT发送通过所述第一电极上的第一超声信号期间neunje第一时段，并且被配置在第二时段期间为接收通过所述第二电极的第二超声信号，所述第一时间段和第二时间段是至少部分地重叠。
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公开(公告)号：KR1020170029497A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：KR1020177000538
申请日：2015-06-08
Applicant: 퀄컴 인코포레이티드
Inventor： 레시터존브래들리 , 쉐노이라빈드라바만 , 구세프예브게니페트로비치 , 판차와그흐리시케쉬 , 번즈데이비드윌리엄 , 쿼나이-퀘이 , 그리피스조나단찰스 , 간티수리야프라카시
CPC classification number: B06B1/0666 , B06B1/0622 , B06B1/0648 , B06B1/0651 , B06B1/067 , B06B1/0674 , B06B1/0677 , G06F3/043 , G06K9/0002 , H01L41/0973
Abstract: 압전마이크로기계식초음파트랜스듀서 (PMUT) 는기판상에배치된다중층스택을포함한다. 다중층스택은기판위에배치된앵커구조, 앵커구조위에배치된압전층스택, 및압전층스택에근접하게배치된기계적층을포함할수도있다. 압전층스택은공동위에배치될수도있다. 기계적층은공동을실링할수도있고, 압전층스택과함께, 앵커구조에의해지지되어공동위에멤브레인을형성하며, 멤브레인은 PMUT 가초음파신호들을수신하거나송신할때 구부러짐모션및 진동중 하나또는양자를경험하도록구성된다.
Abstract translation: 压电微机械超声换能器（PMUT）包括设置在基板上的多层堆叠。 多层堆叠可以包括设置在衬底上的锚结构，设置在锚结构上的压电层堆叠，以及靠近压电层堆叠设置的机械层。 压电层堆叠可以设置在空腔上。 机械层可以密封空腔，并且与压电层堆叠一起由锚结构支撑并且在空腔上形成膜，该膜被配置为当PMUT接收或传输时经历挠曲运动和振动中的一个或两个 超声信号。
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