公开(公告)号：KR101378748B1

公开(公告)日：2014-03-27

申请号：KR1020097004337

申请日：2007-09-11

Applicant: 토소가부시키가이샤 ,  토소 에스지엠 가부시키가이샤

Inventor： 아라이카즈요시 ,  타카하타츠토무 ,  하시모토신키치 ,  우치다마사토 ,  야마다노부스케 ,  하라다요시노리 ,  호리코시히데하루

IPC: C03C4/00

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03C3/06 ,  C03C4/10 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 본 발명에 의하면, 파장 245㎚의 자외광에 대한 두께 10㎜에서의 내부 투과율이 95% 이상이며, OH 함유량이 5ppm 이하, Li, Na, K, Mg, Ca, Cu의 함유량이 각각 0.1ppm 미만인 용융 석영 유리가 제공된다. 바람직하게는, 이 용융 석영 유리의 1215℃에 있어서의 점성률은 10
11.5 ㎩·s 이상이며, 또, 1050℃에서 대기 중에 24시간 방치 시의, 표면으로부터의 깊이가 20㎛를 초과하여 100㎛까지의 영역에 있어서의 Cu 이온의 확산계수가 1×10
-10 ㎠/sec 이하이다. 이 용융 석영 유리는, 원료 실리카 분말을 크로스토발라이트화하고, 이어서, 비환원성 분위기 중에서 용융시킴으로써 제조된다. 이 용융 석영 유리는, 자외선, 가시광선, 적외선의 투과율이 높고, 고순도이면서 내열성이 높으며, 금속 불순물의 확산속도가 작다고 하는 특성을 지니고, 각종 광학 재료, 반도체 제조용 부재, 액정 제조용 부재 등으로서 적합하다.
용융 석영 유리, 내부 투과율, OH 함유량, 실리카 분말, 비환원성 분위기

公开(公告)号：KR102246056B1

公开(公告)日：2021-04-29

申请号：KR1020167023083

申请日：2015-02-16

Applicant: 토소가부시키가이샤

Inventor： 히라이사토리 ,  야마다노부스케 ,  아라이카즈요시

IPC: C03B19/06 ,  C03C11/00 ,  C03C3/06

Abstract: 흡수성이없고, 또한적외광의차광성이우수한불투명석영유리및 그제조방법을제공한다. 본발명은, 불투명석영유리에있어서, 미세한비정질실리카분말과기공형성제를혼합후 성형하고, 소정의온도로가열함으로써, 포함되는기공이폐기공인동시에, 기공의평균직경이 5 내지 20㎛이며, 기공의함유밀도가높고, 따라서열차단성이우수한불투명석영유리가된다.

公开(公告)号：KR1020160119791A

公开(公告)日：2016-10-14

申请号：KR1020167023083

申请日：2015-02-16

Applicant: 토소가부시키가이샤

Inventor： 히라이사토리 ,  야마다노부스케 ,  아라이카즈요시

IPC: C03B19/06 ,  C03C11/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C11/00 ,  C03B19/066 ,  C03B19/08 ,  C03B2201/03 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/80 ,  C03C2204/06

Abstract: 흡수성이없고, 또한적외광의차광성이우수한불투명석영유리및 그제조방법을제공한다. 본발명은, 불투명석영유리에있어서, 미세한비정질실리카분말과기공형성제를혼합후 성형하고, 소정의온도로가열함으로써, 포함되는기공이폐기공인동시에, 기공의평균직경이 5 내지 20㎛이며, 기공의함유밀도가높고, 따라서열차단성이우수한불투명석영유리가된다.

公开(公告)号：KR1020090057237A

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：KR1020097004337

申请日：2007-09-11

Applicant: 토소가부시키가이샤 ,  토소 에스지엠 가부시키가이샤

Inventor： 아라이카즈요시 ,  타카하타츠토무 ,  하시모토신키치 ,  우치다마사토 ,  야마다노부스케 ,  하라다요시노리 ,  호리코시히데하루

IPC: C03C4/00

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03C3/06 ,  C03C4/10 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  Y02P40/57

Abstract: A fused quartz glass comprising OH in a content of 5 ppm or less and Li, Na, K, Mg, Ca and Cu each in a content of less than 0.1 ppm, exhibiting an internal transmittance, as measured at a thickness of 10 mm with respect to ultraviolet radiation of 245 nm wavelength, of 95% or greater. Preferably, the fused quartz glass exhibits a viscosity coefficient of 1011.5 Pa.s or greater at 1215°C, and exhibits a Cu ion diffusion coefficient, as measured in a region from over 20 mum up to 100 mum in a depth from the surface when left in atmosphere at 1050°C for 24 hours, of 1810-10 cm2/sec or below. This fused quartz glass is produced by converting a raw material silica powder to cristobalite and thereafter fusing the same in a nonreducing atmosphere. This fused quartz glass has the properties of being high in the transmittance of ultraviolet ray, visible light and infrared ray, being highly purified, having high heat resistance and being low in the diffusion velocity of metal impurities, so that it is suitable for use as various optical materials, members for semiconductor production, members for liquid crystal production, etc.

Abstract translation: 包含5ppm以下的OH和Li，Na，K，Mg，Ca和Cu的熔融石英玻璃，其含量小于0.1ppm，表现出内部透射率，以10mm的厚度测量， 相对于245nm波长的紫外线辐射，为95％以上。 优选地，熔融石英玻璃在1215℃下的粘度系数为1011.5Pa.s或更大，并且表现出在离表面深度超过20μm至100μm的区域中测量的Cu离子扩散系数， 在1050℃的大气中放置24小时，为1810-10cm2 / sec或更低。 该熔融石英玻璃通过将原料二氧化硅粉末转化为方英石，然后在非还原性气氛中将其熔融而制得。 该熔融石英玻璃具有紫外线，可见光和红外线的透射率高，高纯度，耐热性高，金属杂质扩散速度低的特性，因此适用于 各种光学材料，半导体制造用构件，液晶制造用构件等。