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公开(公告)号：KR1020010110303A
公开(公告)日：2001-12-12
申请号：KR1020017007327
申请日：2000-10-11
Applicant: 토요잉크SC홀딩스주식회사
IPC: B01J19/12
Abstract: 반송입구로부터 피조사물을 반입한 후, 활성에너지선 조사부에서, 불활성가스 분위기하에서, 피조사물에 활성에너지선을 조사하고, 반송출구로부터 피조사물을 반출하는 때에, 반송출입구의 기체유동저항을 제어하여, 반송입구를 통과하는 기체량을 X, 반송출구를 통과하는 기체량을 Y 로 했을 때, X/Y ≥1 의 조건으로 활성에너지선의 조사를 행한다.
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