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公开(公告)号：KR1020100022038A
公开(公告)日：2010-02-26
申请号：KR1020097025774
申请日：2008-05-23
Applicant: 파나소닉 주식회사
CPC classification number: G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: Provided is an oscillating device, which can adjust the oscillation angle and the phase of a movable plate easily with a simple constitution. A light scanning device (10) acting as the oscillating device comprises a mirror element (1) for oscillating the movable plate having a mirror film (2a), a control circuit (14) having a duty ratio adjusting unit (17) and a function to change the duty ratio of the pulse voltage, so that it applies the pulse voltage thereby to drive a vertical comb of the mirror element (1), and an oscillation detecting unit (19) for detecting the oscillations of the movable plate. On the basis of the movable plate oscillations detected by the oscillation detecting unit (19), the control circuit (14) controls the duty ratio adjusting unit (17) thereby to change the duty ratio of the pulse voltage. When the pulse voltage having the changed duty ratio is applied to the mirror element (1), the period of applying the voltage to the vertical comb at the oscillating time of the movable plate changes so that the phase and the oscillation angle of the oscillations of the movable plate change. By the feedback control of the duty ratio according to the oscillations of the movable plate, the movable plate can be controlled to oscillate in the proper phase and at the proper oscillation angle.
Abstract translation: 提供了一种振荡装置，其可以以简单的结构容易地调节可动板的摆动角度和相位。 用作振荡装置的光扫描装置（10）包括用于使具有镜膜（2a）的可动板振荡的反射镜元件（1），具有占空比调节单元（17）的功能的控制电路（14） 以改变脉冲电压的占空比，从而施加脉冲电压从而驱动镜元件（1）的垂直梳，以及用于检测可移动板的振荡的振荡检测单元（19）。 基于由振荡检测单元（19）检测的可动板振荡，控制电路（14）控制占空比调整单元（17），从而改变脉冲电压的占空比。 当具有改变的占空比的脉冲电压被施加到镜元件（1）时，在可移动板的振荡时间施加到垂直梳的电压的周期改变，使得振荡的相位和振荡角 可动板更换。 通过根据可动板的振荡的占空比的反馈控制，可以控制可动板在适当的相位和适当的振荡角度下摆动。
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公开(公告)号：KR1020120120482A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：KR1020127025435
申请日：2009-06-24
Applicant: 파나소닉 주식회사
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , H04N1/1017 , H04N1/193
Abstract: 본 발명은 가동 구조체에 있어서, 경첩부의 비틀림 강성(torsional rigidity)을 억제하면서 인장 강성과 휨 강성을 등을 높여, 가동판의 요동(搖動) 동작의 안정성을 높이는 것을 과제로 한다. 본 발명에 의하면, 한쌍의 지주부(3a) 및 이 한쌍의 지주부(3a)에 놓여져 있는 크로스피스(3b)에 의해, 개방부(3c, open section)를 가지는 사다리 형상의 경첩부(3)를 형성하고, 가동판(2)을 회동 가능하게 지지한다. 경첩부(3)의 개방부(3c)에 의해 경첩부(3)의 회동축 주위의 비틀림 강성을 억제하면서 인장 강성과 휨 강성을 등을 높인다.
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公开(公告)号：KR1020110008336A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：KR1020107028393
申请日：2009-06-24
Applicant: 파나소닉 주식회사
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , H04N1/1017 , H04N1/193
Abstract: 본 발명은 가동 구조체에 있어서, 경첩부의 비틀림 강성(torsional rigidity)을 억제하면서 인장 강성과 휨 강성을 등을 높여, 가동판의 요동(搖動) 동작의 안정성을 높이는 것을 과제로 한다. 본 발명에 의하면, 한쌍의 지주부(3a) 및 이 한쌍의 지주부(3a)에 놓여져 있는 크로스피스(3b)에 의해, 개방부(3c, open section)를 가지는 사다리 형상의 경첩부(3)를 형성하고, 가동판(2)을 회동 가능하게 지지한다. 경첩부(3)의 개방부(3c)에 의해 경첩부(3)의 회동축 주위의 비틀림 강성을 억제하면서 인장 강성과 휨 강성을 등을 높인다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101264136B1
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：KR1020127025435
申请日：2009-06-24
Applicant: 파나소닉 주식회사
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , H04N1/1017 , H04N1/193
Abstract: 본발명은가동구조체에있어서, 경첩부의비틀림강성(torsional rigidity)을억제하면서인장강성과휨 강성을등을높여, 가동판의요동(搖動) 동작의안정성을높이는것을과제로한다. 본발명에의하면, 한쌍의지주부(3a) 및이 한쌍의지주부(3a)에놓여져있는크로스피스(3b)에의해, 개방부(3c, open section)를가지는사다리형상의경첩부(3)를형성하고, 가동판(2)을회동가능하게지지한다. 경첩부(3)의개방부(3c)에의해경첩부(3)의회동축주위의비틀림강성을억제하면서인장강성과휨 강성을등을높인다.
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公开(公告)号：KR101242450B1
公开(公告)日：2013-03-12
申请号：KR1020107028393
申请日：2009-06-24
Applicant: 파나소닉 주식회사
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , H04N1/1017 , H04N1/193
Abstract: 본 발명은 가동 구조체에 있어서, 경첩부의 비틀림 강성(torsional rigidity)을 억제하면서 인장 강성과 휨 강성을 등을 높여, 가동판의 요동(搖動) 동작의 안정성을 높이는 것을 과제로 한다. 본 발명에 의하면, 한쌍의 지주부(3a) 및 이 한쌍의 지주부(3a)에 놓여져 있는 크로스피스(3b)에 의해, 개방부(3c, open section)를 가지는 사다리 형상의 경첩부(3)를 형성하고, 가동판(2)을 회동 가능하게 지지한다. 경첩부(3)의 개방부(3c)에 의해 경첩부(3)의 회동축 주위의 비틀림 강성을 억제하면서 인장 강성과 휨 강성을 등을 높인다.
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公开(公告)号：KR101183915B1
公开(公告)日：2012-09-21
申请号：KR1020107029073
申请日：2009-06-25
Applicant: 파나소닉 주식회사
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B2201/042 , B81C2201/112 , B81C2203/0118 , B81C2203/031 , G02B26/0841 , H02N1/006 , Y10T403/32557
Abstract: 본 발명은, 반도체 기계 구조체에 있어서, 외부로부터 충격이 가해져도 힌지가 파손되지 않도록 하여, 내(耐)충격성을 높인다. 광주사(光走査) 미러(1)는, 가동판(可動板)(2)과, 가동판(2)의 양 측부에 일단부가 각각 접속되어 있고, 가동판(2) 중 1개의 요동축(搖動軸)을 구성하는 한쌍의 힌지(3)와, 가동판(2)의 주위를 에워싸도록 배치되어 각 힌지(3)의 타단부를 지지하는 고정 프레임(4)과, 고정 프레임(4)에 형성된 스토퍼부(6)를 포함하고 있다. 가동판(2)이 측방으로 변위되면, 스토퍼부(6)가 가동판(2)의 오목부(2e) 측 에지부와 접촉하고, 가동판(2)의 측방으로의 변위가 제한된다. 이로써, 외부로부터 충격이 가해져도 힌지(3)의 파손이 방지된다.
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公开(公告)号：KR1020110013520A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：KR1020107029073
申请日：2009-06-25
Applicant: 파나소닉 주식회사
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B2201/042 , B81C2201/112 , B81C2203/0118 , B81C2203/031 , G02B26/0841 , H02N1/006 , Y10T403/32557
Abstract: 본 발명은, 반도체 기계 구조체에 있어서, 외부로부터 충격이 가해져도 힌지가 파손되지 않도록 하여, 내(耐)충격성을 높인다. 광주사(光走査) 미러(1)는, 가동판(可動板)(2)과, 가동판(2)의 양 측부에 일단부가 각각 접속되어 있고, 가동판(2) 중 1개의 요동축(搖動軸)을 구성하는 한쌍의 힌지(3)와, 가동판(2)의 주위를 에워싸도록 배치되어 각 힌지(3)의 타단부를 지지하는 고정 프레임(4)과, 고정 프레임(4)에 형성된 스토퍼부(6)를 포함하고 있다. 가동판(2)이 측방으로 변위되면, 스토퍼부(6)가 가동판(2)의 오목부(2e) 측 에지부와 접촉하고, 가동판(2)의 측방으로의 변위가 제한된다. 이로써, 외부로부터 충격이 가해져도 힌지(3)의 파손이 방지된다.
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公开(公告)号：KR101196179B1
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：KR1020097025774
申请日：2008-05-23
Applicant: 파나소닉 주식회사
CPC classification number: G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: 본 발명은 요동장치, 상기 요동장치를 이용한 광스캐닝장치, 영상표시장치 및 요동장치의 제어방법에 관한 것으로, 본 발명에 의한 요동장치는 간단한 구성으로 가동판의 요동과 위상을 용이하게 조정가능하게 한다.
본 발명에 의한 요동장치를 이용한 광스캐닝장치(10)는 거울막(2a)을 갖는 요동판을 요동시키는 거울소자(1), 듀티비 조정부(17)를 갖는 펄스전압의 듀티비를 변경하는 기능을 갖고 거울소자(1)의 수직형 콤에 펄스전압을 인가하고 구동시키는 제어회로(14), 가동판의 요동을 검출하는 요동검출부(19)를 구비한다.
본 발명에 의한 제어회로(14)는 요동검출부(19)에 의해 검출되는 가동판의 요동에 기초하여 듀티비 조정부(17)를 제어펄스전압의 듀티비를 변경시킨다. 듀티비는 변경되는 펄스전압이 거울소자(1)에 인가되면 가동판의 요동시의 수직형 콤으로의 전압인가 기간이 변화하고 가동판의 요동 위상과 요동각이 변화한다. 가동판의 요동에 따라 듀티비의 피드백제어에 의해 가동판이 적절한 위상과 요동각으로 요동하도록 제어하는 것이 가능하다.
광스캐닝장치, 요동장치, 토션스프링
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