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公开(公告)号：KR1020100133158A
公开(公告)日：2010-12-21
申请号：KR1020090051903
申请日：2009-06-11
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: PURPOSE: A variable area type capacitive sensor is provided to improve the signal stability of a sensor by offsetting electrostatic capacity after changing a structure to offset the vertical displacement of a signal. CONSTITUTION: A sensor includes an upper electrode(20) and a lower electrode(40). The upper electrode is fixed to a one body. The lower electrode moves by being separated into at least two parts. The upper electrode has a size having a 1/2 cycle. The lower electrode has a size in which each is added to have a 1/2n cycle. A positive signal and a negative signal are used in the lower electrode.
Abstract translation: 目的：提供可变面积型电容传感器，通过改变结构以抵消信号的垂直位移来抵消静电电容，从而提高传感器的信号稳定性。 构成：传感器包括上电极（20）和下电极（40）。 上电极固定在一体上。 下电极通过分成至少两部分而移动。 上电极具有1/2周期的尺寸。 下部电极具有其中每个被加入以具有1 / 2n个周期的尺寸。 在下电极中使用正信号和负信号。
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公开(公告)号：KR1020090121838A
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：KR1020080047941
申请日：2008-05-23
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: PURPOSE: An area-variable capacitive sensor having a mechanical guide is provided to prepare a mechanical guide to compensate alignment error of initial stage and maintain a gap of variable area capacitive type sensor. CONSTITUTION: A spring element provides in the direction which weaves a fixing element(10) or the cohesive power which adheres one of the moving element(20) closely about one another to the driving direction. According to the change of the electric capacity between the fixed element and the moving element, the electric power supply is supplied to the conductive pattern of one which generates the output signal. A signal detecting circuit is connected to the conductive pattern where the electric power supply is not applied and it outputs the electric signal from detecting the change of the electric capacity between the fixing element and the moving element.
Abstract translation: 目的：提供一种具有机械引导件的面积可变的电容传感器，以准备一个机械引导件来补偿初始阶段的对准误差，并保持可变面积电容式传感器的间隙。 构成：弹簧元件沿着编织固定元件（10）的方向或将移动元件（20）中的一个紧密地附接到驱动方向的内聚力提供。 根据固定元件与移动元件之间的电容量的变化，将电力供给到产生输出信号的导体图案。 信号检测电路连接到不施加电源的导电图案，并且从检测固定元件和移动元件之间的电容的变化来输出电信号。
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公开(公告)号：KR101082835B1
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：KR1020090051903
申请日：2009-06-11
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명의 갭변화에 대한 강인성을 향상하는 면적변화형 정전용량형 센서는 일체로 고정되는 상부 전극과, 2개 이상으로 분리되어 이동가능한 하부 전극으로 구성하되, 상기 상부 전극은 1/2 주기를 이루는 크기를 가지며, 상기 하부 전극은 각각이 합해져서 1/2 주기를 이루는 크기를 가지며, 하부 전극에는 하나씩 +신호와 -신호를 사용하거나, 하나씩 +신호와 -신호를 사용하고, 나머지 하나는 ±중 어느 하나의 신호를 사용한다.
본 발명에 의하면, 신호를 정전용량-변위의 관계가 아니라 동특성을 이용하거나, 신호에서 수직 변위를 상쇄시켜 줄 수 있는 형태로 구조를 바꾸어 줌에 따라 정전용량의 상쇄를 이용하여 갭변화에 대한 강인성을 증가시켜서 면적변화형 센서의 신호 안정성을 증가시키는 효과를 가진다.-
公开(公告)号：KR100971494B1
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：KR1020080047941
申请日：2008-05-23
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명의 면적변화형 정전용량형 센서는 전도성패턴(14)이 형성되는 고정요소(10)와, 전도성패턴(24)이 상기 고정요소(10)의 전도성패턴(14)과 대향하도록 배치되어 상기 고정요소(10)에 대해 상대적 평행이동되어 겹치는 면적을 변화시키는 이동요소(20)와, 상기 고정요소(10) 또는 이동요소(20)의 어느 하나를 다른 하나에 대해 밀착시키는 밀착력을 구동방향에 대해 수직한 방향으로 제공하는 스프링요소(30)와, 상기 고정요소(10)와 이동요소(20)사이의 전기용량의 변화에 따라 출력신호를 발생시킬 수 있도록 상기 어느 하나의 전도성패턴(14,24)에 공급되는 전원(40)과, 상기 고정요소(10)와 이동요소(20)사이의 전기용량의 변화를 검출하여 전기적 신호로 출력하도록 전원(40)이 인가되지 않는 상기 전도성패턴(14,24)에 연결되는 신호검출회로(50)와, 서로 밀착되는 각 전도성패턴사이의 갭을 유지하도록 구동방향으로 형성된 가이드 수단을 포함한다.
본 발명에 의하면, 가이드 라인에 의해 정전용량형 센서의 갭이 유지되고, 정렬오차가 보정되므로, 초정밀 대변위 정전용량형 센서를 피드백 센서로 사용하는 초정밀 포지셔너 및 이를 응용한 제품군과, 긴 행정구간을 정밀하게 제어해야 하는 시스템의 피드백 센서로도 적용가능한 효과를 가진다.Abstract translation: 面积可变型电容式位移传感器包括：静止元件; 可移动元件; 弹性构件，用于在与驱动方向垂直的方向上提供将固定元件和可动构件中的一个朝向其余的元件施加的力，使得静止元件和可动构件保持彼此紧密接触; 电源; 和信号检测电路。 传感器还包括用于校正初始对准误差并降低固定元件和可移动元件之间的操作对准误差的引导装置。
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