Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号:KR101974575B1
公开(公告)日:2019-05-02
申请号:KR1020170164318
申请日:2017-12-01
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Inventor: 김종현 , 박경진 , 김강현
IPC: G03F7/24 , G03F7/18 , G03F7/26 , G03F7/20