公开(公告)号：KR101727241B1

公开(公告)日：2017-04-14

申请号：KR1020140136977

申请日：2014-10-10

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 황운봉 ,  조한동 ,  김문수

IPC: B05D3/06 ,  B05D5/12 ,  C08J3/28

Abstract: 친수성및 소수성패턴형성장치를개시한다. 본발명의일실시예에따른친수성및 소수성패턴형성장치는내부공간이형성된챔버부재, 상기챔버부재의일측에형성되어상기챔버부재내부로반응가스를주입하는가스공급유닛, 상기챔버부재의일측에형성되어반응가스가배출되는가스배출유닛, 상기챔버부재내부에배치되어기재가안착되는지지부재, 상기지지부재로부터이격되도록배치되어상기기재로두 영역이상의파장으로이루어진자외선을조사하는자외선조사부재, 상기챔버부재내부에배치되어상기자외선조사부재로부터조사된자외선이기재로집광되게하는적어도하나의반사부재및 상기기재로부터이격되게배치되어상기기재의특정영역을차단하여상기기재에조사되는자외선의일부가차단되게하는마스크부재를포함할수 있다.

Abstract translation: 公开了一种亲水和疏水图案形成设备。 在腔室构件的一侧上形成了根据本形成装置的实施方式的亲水性和疏水性图案的一个实施例中，形成在气体供给部，所述腔室bujaeui一个所述腔室的内部空间形成bujaeui用于注入反应气体引入腔室构件 的反应气体被布置在气体排出部中，待排出的被布置成从支撑构件间隔开的腔室部件的内部，被描述的支撑构件安置紫外线照射部件照射紫外线由至少两个区域的在基板波长，室 的一部分被切断紫外线被布置在内部构件上从所述至少一个反射元件和基底分开布置而冷凝，以与来自紫外线照射部件射出的紫外线的基板照射到基体材料以阻挡基板的特定区域 并且使掩模露出。

公开(公告)号：KR1020160042706A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：KR1020140136977

申请日：2014-10-10

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 황운봉 ,  조한동 ,  김문수

IPC: B05D3/06 ,  B05D5/12 ,  C08J3/28

CPC classification number: B05D3/061 ,  B05D5/12 ,  C08J3/28

Abstract: 친수성및 소수성패턴형성장치를개시한다. 본발명의일실시예에따른친수성및 소수성패턴형성장치는내부공간이형성된챔버부재, 상기챔버부재의일측에형성되어상기챔버부재내부로반응가스를주입하는가스공급유닛, 상기챔버부재의일측에형성되어반응가스가배출되는가스배출유닛, 상기챔버부재내부에배치되어기재가안착되는지지부재, 상기지지부재로부터이격되도록배치되어상기기재로두 영역이상의파장으로이루어진자외선을조사하는자외선조사부재, 상기챔버부재내부에배치되어상기자외선조사부재로부터조사된자외선이기재로집광되게하는적어도하나의반사부재및 상기기재로부터이격되게배치되어상기기재의특정영역을차단하여상기기재에조사되는자외선의일부가차단되게하는마스크부재를포함할수 있다.

Abstract translation: 公开了一种用于形成超疏水 - 超亲水性图案的装置，用于改善超疏水 - 超亲水性图案的质量。 根据本发明的实施方案的形成超疏水 - 超亲水性图案的装置包括：形成有内部空间的室构件; 气体供给单元，其形成在所述室构件的一侧，以将气体注入到所述室构件中; 气体排出单元，其形成在所述室构件的一侧以排出反应气体; 设置在所述室构件中以允许材料被安全地放置在其上的支撑构件; 与所述支撑构件间隔开的紫外线辐射构件，以辐射具有两个或更多个波长区域的紫外线; 设置在所述室构件中的至少一个反射构件，以允许从所述紫外线辐射构件辐射的紫外线集中在所述材料上; 以及与所述材料间隔开以阻挡所述材料的特定区域的掩模构件，使得辐射到所述材料上的紫外线被部分阻挡。