公开(公告)号：WO2020226288A1

公开(公告)日：2020-11-12

申请号：PCT/KR2020/004718

申请日：2020-04-08

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 정운룡 ,  김태영

IPC: G01L9/18 ,  G01L9/00 ,  C08L101/00 ,  C08L101/08 ,  H01L29/84 ,  H01L21/027 ,  H01L21/28 ,  G03F7/20 ,  G01L9/0091 ,  G03F7/2002

Abstract: 전해질을 포함하는 포함하는 스파이크열 출력형 압력센서 및 그의 제조방법이 개시된다. 상기 압력센서는 제1 전극; 상기 제1 전극 상에 위치하고, 전해질을 포함하는 패턴을 갖는 압력 감지부; 상기 제1 전극 상에 위치하고, 상기 압력 감지부의 일부 또는 전부를 둘러싸는 스페이서; 및 상기 스페이서와 상기 압력 감지부 상에 위치하고, 상기 압력 감지부와 이격하여 위치하는 제2 전극; 을 포함한다. 본 발명의 압력센서는 주파수 기반 신호의 일종인 스파이크열의 안정적 신호 전달로 노이즈가 발생할 수 있는 환경에서도 신뢰성 있는 압력 센싱 결과를 제시할 수 있다.

公开(公告)号：KR102172342B1

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：KR1020190053737

申请日：2019-05-08

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 정운룡 ,  김태영

IPC: G01L9/18 ,  G01L9/00 ,  C08L101/00 ,  C08L101/08 ,  H01L29/84 ,  H01L21/027 ,  H01L21/28 ,  G03F7/20