나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서 및 그 제조방법
    1.
    发明申请
    나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서 및 그 제조방법 审中-公开
    具有纳米结构的金属氧化物半导体气体传感器及其制造方法

    公开(公告)号:WO2013191309A1

    公开(公告)日:2013-12-27

    申请号:PCT/KR2012/004799

    申请日:2012-06-18

    CPC classification number: G01N5/00 G01N27/12 G01N27/127 G01N33/0009

    Abstract: 본 발명은 나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서는, 기판; 상기 기판 상부에 형성된 제1전극; 상기 제1전극의 상부에 구비되고, 나노구조를 가지며 감지 대상의 가스와 반응하여 전기전도도가 변화하는 금속산화물반도체로 이루어지고, 경사각 증착법을 통해 형성된 가스감지층; 다공성 구조를 가지며, 상기 금속산화물반도체의 상부에 형성된 제2전극; 및 상기 제1ㆍ제2전극을 통해 소정의 전류를 흘려 상기 가스감지층의 전기전도도를 측정함으로써 상기 가스를 감지하는 제어부;를 포함한다. 본 발명에 의하면, 제2전극이 감지 대상의 가스가 출입할 수 있도록 다공성 구조로 구비됨으로써, 가스와 반응하여 전기전도도가 변화하는 가스센서의 가스감지층을 경사각 증착법을 이용하여 나노 구조로 형성할 수 있고, 이에 따라 가스감지층의 제조가 용이해지며, 그 나노 구조의 형상도 가스와의 반응을 극대화할 수 있는 형상으로 자유롭게 형성할 수 있으므로, 나노 구조의 금속산화물반도체를 한 쌍의 전극 사이에 개재되는 가스감지층으로 활용하면서도 나노 구조의 금속산화물반도체가 갖는 가스와의 반응성 극대화 등의 장점을 그대로 살릴 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及具有纳米结构的金属氧化物半导体气体传感器及其制造方法。 根据本发明的具有纳米结构的金属氧化物半导体气体传感器包括:基板; 形成在所述基板的上部的第一电极; 气体检测层,其设置在具有纳米结构的上述第一电极的上部,并且包含与来自被检测体的气体反应时电力变化的金属氧化物半导体,并且根据 斜角沉积技术; 第二电极,其具有多孔结构并形成在所述金属氧化物半导体的上部; 以及控制部分,用于通过施加预定量的电流通过第一和第二电极来检测气体,以便测量气体检测层的电导率。 根据本发明,通过具有多孔结构的第二电极,使得来自被检测体的气体能够流入和流出,气体传感器的气体检测层(其电导率随气体变化而变化) 可以通过使用斜角沉积技术制成纳米结构形式。 结果,可以使气体检测层的制造变得容易,并且可以将纳米结构的形状自由地操作成能够使与气体反应最大的形状,从而能够利用具有纳米结构的金属氧化物半导体作为气体检测 其间插入一对电极之间,同时保持具有纳米结构的金属氧化物半导体的优点,例如最大化与气体的反应性。

    나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서 및 그 제조방법
    2.
    发明公开
    나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서 및 그 제조방법 失效
    具有纳米结构的金属氧化物半导体气体传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020120121511A

    公开(公告)日:2012-11-06

    申请号:KR1020110039370

    申请日:2011-04-27

    Abstract: PURPOSE: A metal oxide semiconductor gas sensor having a nano structure and a manufacturing method thereof are provided to enhance the sensitivity of a gas sensor by allowing each contact between a target gas and a gas sensing layer because a metal oxide semiconductor having a nano structure, formed by using an oblique angle deposition method, is used as the gas sensing layer. CONSTITUTION: A metal oxide semiconductor gas sensor having a nano structure comprises a substrate(100), a first electrode(200), a gas sensing layer(300), a second electrode(400), and a controlling unit(500). The first electrode is formed on the top of the substrate. The gas sensing layer has a nano structure and is composed of a metal semiconductor. The gas sensing unit reacts with a target gas so that the electrical conductivity is changed. The gas sensing layer is formed by an oblique angle deposition method. The second electrode is formed on the top of the metal oxide semiconductor. The controlling unit measures the electrical conductivity of the gas sensing layer by letting predetermined current flow through the first and second electrodes, thereby sensing the target gas. [Reference numerals] (500) Controlling unit

    Abstract translation: 目的:提供一种具有纳米结构的金属氧化物半导体气体传感器及其制造方法,其特征在于,由于具有纳米结构的金属氧化物半导体,能够使目标气体和气体感应层之间的各接触,提高气体传感器的灵敏度, 通过使用斜角沉积法形成,被用作气体感测层。 构成:具有纳米结构的金属氧化物半导体气体传感器包括基板(100),第一电极(200),气体感测层(300),第二电极(400)和控制单元(500)。 第一电极形成在基板的顶部。 气体感测层具有纳米结构,由金属半导体构成。 气体检测单元与目标气体反应,从而改变导电性。 气体感测层通过斜角沉积法形成。 第二电极形成在金属氧化物半导体的顶部。 控制单元通过使预定电流流过第一和第二电极来测量气体感测层的电导率,从而感测目标气体。 (附图标记)(500)控制单元

    나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서 및 그 제조방법
    3.
    发明授权
    나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서 및 그 제조방법 失效
    具有纳米结构的金属氧化物半导体气体传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR101280498B1

    公开(公告)日:2013-07-05

    申请号:KR1020110039370

    申请日:2011-04-27

    Abstract: 본 발명은 나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 나노 구조를 갖는 금속산화물반도체 가스센서는, 기판; 상기 기판 상부에 형성된 제1전극; 상기 제1전극의 상부에 구비되고, 나노 구조를 가지며 감지 대상의 가스와 반응하여 전기전도도가 변화하는 금속산화물반도체로 이루어지고, 경사각 증착법을 통해 형성된 가스감지층; 다공성 구조를 가지며, 상기 금속산화물반도체의 상부에 형성된 제2전극; 및 상기 제1ㆍ제2전극을 통해 소정의 전류를 흘려 상기 가스감지층의 전기전도도를 측정함으로써 상기 가스를 감지하는 제어부;를 포함한다.
    본 발명에 의하면, 제2전극이 감지 대상의 가스가 출입할 수 있도록 다공성 구조로 구비됨으로써, 가스와 반응하여 전기전도도가 변화하는 가스센서의 가스감지층을 경사각 증착법을 이용하여 나노 구조로 형성할 수 있고, 이에 따라 가스감지층의 제조가 용이해지며, 그 나노 구조의 형상도 가스와의 반응을 극대화할 수 있는 형상으로 자유롭게 형성할 수 있으므로, 나노 구조의 금속산화물반도체를 한 쌍의 전극 사이에 개재되는 가스감지층으로 활용하면서도 나노 구조의 금속산화물반도체가 갖는 가스와의 반응성 극대화 등의 장점을 그대로 살릴 수 있다.

    나노 구조를 갖는 유/무기 하이브리드 태양전지 및 그 제조방법
    5.
    发明公开
    나노 구조를 갖는 유/무기 하이브리드 태양전지 및 그 제조방법 有权
    纳米结构有机/无机混合太阳能电池及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020140084372A

    公开(公告)日:2014-07-07

    申请号:KR1020120152529

    申请日:2012-12-24

    Abstract: The present invention relates to an organic/inorganic hybrid solar cell having a nanostructure and a manufacturing method thereof. Disclosed are the organic/inorganic hybrid solar cell comprising a substrate; a lower electrode formed on the substrate; an active layer of an inorganic material having a three-dimensional nanostructure formed on the lower electrode; an active layer of an organic material coated on the active layer of the inorganic material; and an upper electrode formed on the active layer of the organic material, and a manufacturing method thereof.

    Abstract translation: 本发明涉及具有纳米结构的有机/无机混合太阳能电池及其制造方法。 公开了包含基材的有机/无机混合太阳能电池; 形成在所述基板上的下电极; 在下电极上形成具有三维纳米结构的无机材料的有源层; 涂覆在无机材料的有源层上的有机材料的活性层; 以及形成在有机材料的有源层上的上电极及其制造方法。

    유기태양전지 및 그의 제조방법
    6.
    发明授权
    유기태양전지 및 그의 제조방법 有权
    有机太阳能电池及其制造方法

    公开(公告)号:KR101410942B1

    公开(公告)日:2014-06-23

    申请号:KR1020120148705

    申请日:2012-12-18

    Inventor: 김종규 권현아

    CPC classification number: Y02E10/549 H01L51/42

    Abstract: According to an embodiment of the present invention, an organic solar cell includes a substrate; a transparent electrode which includes a base layer in the form of a thin film arranged on the substrate, and a 3D shaped nanostructure layer arranged on the base layer; an active layer formed on the transparent electrode; and an upper electrode formed on the active layer.

    Abstract translation: 根据本发明的实施例,有机太阳能电池包括基板; 透明电极,其包括布置在基板上的薄膜形式的基底层和布置在基底层上的3D形状的纳米结构层; 形成在透明电极上的有源层; 以及形成在有源层上的上电极。

    유기태양전지 및 그의 제조방법
    8.
    发明公开
    유기태양전지 및 그의 제조방법 有权
    有机太阳能电池及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020140079105A

    公开(公告)日:2014-06-26

    申请号:KR1020120148704

    申请日:2012-12-18

    CPC classification number: Y02E10/549 Y02P70/521 H01L51/42

    Abstract: According to the present invention, an organic solar cell includes: a substrate; a metal electrode including a base layer on an upper surface of the substrate, and a three dimensional nanostructure layer on an upper surface of the base layer; an active layer formed on an upper surface of the metal electrode; and a transparent electrode formed on an upper surface of the active layer.

    Abstract translation: 根据本发明,有机太阳能电池包括:基板; 在所述基板的上表面具有基层的金属电极和所述基层的上表面的三维纳米结构层; 形成在所述金属电极的上表面上的有源层; 以及形成在有源层的上表面上的透明电极。

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