公开(公告)号：KR101593477B1

公开(公告)日：2016-02-12

申请号：KR1020140090851

申请日：2014-07-18

Applicant: 플렉스피이(주)

Inventor： 어온석 ,  노상학 ,  황재구

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/34

Abstract: 롤투롤유닛의처짐방지구조를갖는롤투롤스퍼터링머신이개시되어있다. 개시된롤투롤유닛의처짐방지구조를갖는롤투롤스퍼터링머신은내부에스퍼터링작업공간인진공챔버를갖는원통형의하우징; 상기하우징의입구측에배치된채 필름을롤투롤방식에의해공급하고, 스퍼터링이완료된필름을회수하는롤투롤유닛; 상기롤투롤유닛의말단부에설치된채 하부의가이드레일을따라이동되면서상기하우징에롤투롤유닛을인입하거나또는하우징으로부터인출시키는도어유닛; 및상기롤투롤유닛의자유단이처지는것을방지하기위한처짐방지부재;를포함하되, 상기처짐방지부재는, 상기하우징의내부양측에길이방향으로각각설치되는고정가이드; 엘엠블록을매개로상기고정가이드의외부길이방향을따라슬라이딩되되, 길이방향의외측단은상기롤투롤유닛의선단부에연결되어있는연결가이드; 및상기롤투롤유닛의선단부양쪽에고정설치되며, 엘엠블록을매개로상기연결가이드의외부길이방향을따라슬라이딩되는유동가이드;를포함하는것이다.

公开(公告)号：KR1020160010053A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：KR1020140090851

申请日：2014-07-18

Applicant: 플렉스피이(주)

Inventor： 어온석 ,  노상학 ,  황재구

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/34

CPC classification number: C23C14/562 ,  C23C14/34

Abstract: 롤투롤유닛의처짐방지구조를갖는롤투롤스퍼터링머신이개시되어있다. 개시된롤투롤유닛의처짐방지구조를갖는롤투롤스퍼터링머신은내부에스퍼터링작업공간인진공챔버를갖는원통형의하우징; 상기하우징의입구측에배치된채 필름을롤투롤방식에의해공급하고, 스퍼터링이완료된필름을회수하는롤투롤유닛; 상기롤투롤유닛의말단부에설치된채 하부의가이드레일을따라이동되면서상기하우징에롤투롤유닛을인입하거나또는하우징으로부터인출시키는도어유닛; 및상기롤투롤유닛의자유단이처지는것을방지하기위한처짐방지부재;를포함하되, 상기처짐방지부재는, 상기하우징의내부양측에길이방향으로각각설치되는고정가이드; 엘엠블록을매개로상기고정가이드의외부길이방향을따라슬라이딩되되, 길이방향의외측단은상기롤투롤유닛의선단부에연결되어있는연결가이드; 및상기롤투롤유닛의선단부양쪽에고정설치되며, 엘엠블록을매개로상기연결가이드의외부길이방향을따라슬라이딩되는유동가이드;를포함하는것이다.

Abstract translation: 公开了一种具有卷对卷单元的偏转防止结构的卷对卷溅射机。 所公开的具有卷对卷单元的偏转防止结构的卷对卷溅射机包括：圆柱形壳体，其具有真空室，即其内部的溅射工作空间; 卷对卷单元，其通过辊对辊方式提供膜布置在壳体的入口上，收集溅射完成的膜; 门单元，其将卷对单元插入壳体中或者通过安装在卷对卷的端部中沿着下部的导轨移动而将卷对单元从壳体中撤出 单元; 以及防止卷对单元的自由平台偏转的防偏转构件。 防偏转构件包括：沿着纵向方向安装在壳体的两侧的固定引导件; 连接引导件通过LM滑块的介质沿着固定引导件的外部纵向方向滑动，并且沿纵向方向的外部部分连接到卷对单元的前端; 以及柔性引导件，其被固定并安装在卷对单元的前端的两侧，并且通过LM块的介质沿连接引导件的外部纵向方向滑动。