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公开(公告)号：KR100634127B1
公开(公告)日：2006-10-16
申请号：KR1020040087763
申请日：2004-11-01
Applicant: 학교법인연세대학교
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 본 발명에 의한 미세 패터닝 방법은, 하나 또는 둘 이상의 미세유로 및 미세유로에 유동체를 주입하기 위한 개구가 형성된 탄성중합체 몰드를 제조하는 단계; 탄성중합체 몰드의 미세유로가 형성된 면에 기판을 부착하여 미세유로에 의한 캐비티를 형성하는 단계; 하나 또는 둘 이상의 재료를 유동체로 분산시키는 단계; 유동체를 캐비티에 강제 주입하는 단계; 주입된 유동체내의 용매를 건조시키는 단계; 및 탄성중합체 몰드를 제거하여 기판상에 미세패턴을 완성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면 유동체 형태로 가공된 기능성 재료를 하나의 개구만을 가지는 미세 유로내로 압력차를 인가하여 강제로 주입시킴으로써, 넓은 면적에 빠른 시간에 복잡한 형태를 갖는 미세 패턴을 형성할 수 있다.
본 발명에 의하면 두 가지 이상의 재료를 사용하여 실리콘 기판, 세라믹 기판, 금속층, 고분자층 등의 다양한 재질의 기판상에 다양한 크기와 복잡한 형태를 갖는 미세패턴을 형성하기 용이한 저가의 공정이 제공된다.
특히, 본 발명은 기존의 공정으로는 제작이 어려운 단실형 고체 산화물 연료전지의 전극 패터닝에 적합하다.-
公开(公告)号：KR1020060038649A
公开(公告)日：2006-05-04
申请号：KR1020040087763
申请日：2004-11-01
Applicant: 학교법인연세대학교
CPC classification number: Y02P70/56 , H01M8/1286 , H01M8/0247 , H01M8/0258 , H01M2008/1293 , Y02E60/525
Abstract: 본 발명에 의한 미세 패터닝 방법은, 하나 또는 둘 이상의 미세유로 및 미세유로에 유동체를 주입하기 위한 개구가 형성된 탄성중합체 몰드를 제조하는 단계; 탄성중합체 몰드의 미세유로가 형성된 면에 기판을 부착하여 미세유로에 의한 캐비티를 형성하는 단계; 하나 또는 둘 이상의 재료를 유동체로 분산시키는 단계; 유동체를 캐비티에 강제 주입하는 단계; 주입된 유동체내의 용매를 건조시키는 단계; 및 탄성중합체 몰드를 제거하여 기판상에 미세패턴을 완성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면 유동체 형태로 가공된 기능성 재료를 하나의 개구만을 가지는 미세 유로내로 압력차를 인가하여 강제로 주입시킴으로써, 넓은 면적에 빠른 시간에 복잡한 형태를 갖는 미세 패턴을 형성할 수 있다.
본 발명에 의하면 두 가지 이상의 재료를 사용하여 실리콘 기판, 세라믹 기판, 금속층, 고분자층 등의 다양한 재질의 기판상에 다양한 크기와 복잡한 형태를 갖는 미세패턴을 형성하기 용이한 저가의 공정이 제공된다.
특히, 본 발명은 기존의 공정으로는 제작이 어려운 단실형 고체 산화물 연료전지의 전극 패터닝에 적합하다.
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