公开(公告)号：KR1020130101391A

公开(公告)日：2013-09-13

申请号：KR1020120022507

申请日：2012-03-05

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 송용원 ,  임정아 ,  강동석 ,  김원준

IPC: C01B31/02 ,  C23C16/26 ,  H01L21/08

CPC classification number: C01B32/186 ,  B01J23/755 ,  C23C16/26 ,  H01L21/08

Abstract: PURPOSE: A graphene, a graphene manufactured by the same, and an electronic diode including the same are provided to manufacture graphene without artificial carbon supply source. CONSTITUTION: A manufacturing method of a graphene comprises a step of depositing a catalyst on a substrate (S110); a step of heating the substrate to make carbon included in the deposited catalyst diffuse in the interlayer between the substrate and the catalyst through the interference of the catalyst (S120); a step of making the diffused carbon form a graphene crystal, grow, and form graphene by cooling the heated substrate (S130); and a step of etching a catalyst to obtain generated graphene (S140). [Reference numerals] (S110) Depositing a catalyst on a substrate; (S120) Heating the substrate; (S130) Cooling the heated substrate; (S140) Etching a catalyst

Abstract translation: 目的：提供石墨烯，由其制造的石墨烯和包含该石墨烯的电子二极管，以制造没有人造碳源的石墨烯。 构成：石墨烯的制造方法包括在基板上沉积催化剂的步骤（S110）; 通过加热基板以使包含在沉积的催化剂中的碳通过催化剂的干扰而扩散到基板和催化剂之间的中间层中的步骤（S120）; 使扩散的碳形成石墨烯晶体的步骤，通过冷却加热的衬底生长并形成石墨烯（S130）。 和蚀刻催化剂以获得生成的石墨烯的步骤（S140）。 （参考号）（S110）在基板上沉积催化剂; （S120）加热基板; （S130）冷却加热的基板; （S140）蚀刻催化剂

公开(公告)号：KR101350263B1

公开(公告)日：2014-01-14

申请号：KR1020120022507

申请日：2012-03-05

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 송용원 ,  임정아 ,  강동석 ,  김원준

IPC: C01B31/02 ,  C23C16/26 ,  H01L21/08

Abstract: 본 명세서는, 기판 위에 촉매를 증착하는 단계, 인위적인 탄소 공급원의 제공 없이, 증착된 상기 촉매 내에 증착에 의하여 포함된 탄소가 상기 촉매의 결정 경계를 통하여 상기 기판 및 상기 촉매의 층간에 확산되도록 상기 기판을 가열하는 단계, 상기 확산된 탄소가 그래핀 결정을 형성하고 성장시켜 그래핀을 생성하도록 상기 가열된 기판을 냉각하는 단계, 및 상기 생성된 그래핀을 획득하기 위하여, 상기 촉매를 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 방법, 이에 따라 제조되는 그래핀, 및 그 그래핀을 포함하는 전자 소자에 관한 것이다.