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公开(公告)号:KR102053331B1
公开(公告)日:2019-12-06
申请号:KR1020180070133
申请日:2018-06-19
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/8234 , H01L21/02
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公开(公告)号:KR102053331B1
公开(公告)日:2019-12-06
申请号:KR1020180070133
申请日:2018-06-19
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/8234 , H01L21/02