나노선들을 포함하는 박막전극의 제조방법, 나노선 박막전극 및 이를 포함하는 박막전지
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    发明公开
    나노선들을 포함하는 박막전극의 제조방법, 나노선 박막전극 및 이를 포함하는 박막전지 无效
    包含纳米薄膜的膜的制备方法,包含纳米微粒的薄膜和包含其的薄膜电池

    公开(公告)号:KR1020150042011A

    公开(公告)日:2015-04-20

    申请号:KR1020130120698

    申请日:2013-10-10

    CPC classification number: C23C14/226 C23C14/3407 C23C14/505 H01M4/0426

    Abstract: 본발명은나노선들을포함하는박막전극의제조방법, 나노선박막전극및 이를포함하는박막전지에대한것으로, 스퍼터링법을이용하여경사형또는나선형나노선박막을제조하는방법을제공한다. 이를이용하면, 경사진형태나나선형형태와같은미세구조가제어된나노선들이정렬되어있는박막을기판상에성장시키면서도이들의조성이나결정성, 미세구조등의제어가가능하여넓은접촉면적을가진금속산화물전극을제공할수 있고, 박막전지에활용시에고출력특성, 고속충방전특성을얻을수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种包含纳米线的薄膜的制备方法,该薄膜包括纳米线,以及包含该纳米线的薄膜电池。 它提供了使用溅射法倾斜或螺旋形的纳米线薄膜的制造方法。 使用该方法,可以在不使用板状物倾斜或螺旋形状的情况下用纳米线定相薄膜来控制组成或结晶度或微细结构。 因此,当使用薄膜电池时,可以提供具有宽接触面的金属氧化物电极,并且可以获得大的输出和高速充放电。

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