Patent search ap:("한국과학기술연구원") AND inv:"김진현" Page 1

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发明授权
트렌치를 따라 주름진 멤브레인을 갖는 멤브레인 소자 및 그 제조방법과 이를 이용하는 응용장치 有权

公开(公告)号：KR101999726B1

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：KR1020180047184

申请日：2018-04-24

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이병철 , 박진수 , 오민택 , 김진현

IPC: H01L21/768 , H01L21/18

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