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公开(公告)号:KR101969918B1
公开(公告)日:2019-04-17
申请号:KR1020170032221
申请日:2017-03-15
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 손해정 , 이필립 , 김재경 , 박성민 , 신인정 , 김효정
IPC: H01L51/00 , H01L51/42 , C09K11/06