公开(公告)号：KR100578734B1

公开(公告)日：2006-05-12

申请号：KR1020030082026

申请日：2003-11-19

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 주오심 ,  정광덕 ,  록핸드씨.디. ,  박봉옥

IPC: H01L21/20 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01L28/65 ,  C25D3/52 ,  H01L21/2885

Abstract: 본 발명은 전착법을 이용한 루테늄 산화물 박막의 제조방법에 관한 것으로서, pH 1.0 내지 2.5 및 농도 0.001 내지 0.1M의 루테늄 염 함유 수용액 중에 대전극(counter electrode, cathode)과 작업전극(working electrode, anode)으로서의 기판 각각을 침지시킨 후 양 전극에 전압을 인가하는 본 발명의 전착법에 의하면, 높은 캐패시턴스 값을 갖는, 무정질의 루테늄 산화물 박막을 고온에서의 열처리 없이 온화한 조건에서 제조할 수 있으며, 이 박막은 전기화학 캐패시터의 전극으로서 유용하게 사용될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050048173A

公开(公告)日：2005-05-24

申请号：KR1020030082026

申请日：2003-11-19

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 주오심 ,  정광덕 ,  록핸드씨.디. ,  박봉옥

IPC: H01L21/20 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01L28/65 ,  C25D3/52 ,  H01L21/2885

Abstract: 본 발명은 전착법을 이용한 루테늄 산화물 박막의 제조방법에 관한 것으로서, pH 1.0 내지 2.5 및 농도 0.001 내지 0.1M의 루테늄 염 함유 수용액 중에 대전극(counter electrode, cathode)과 작업전극(working electrode, anode)으로서의 기판 각각을 침지시킨 후 양 전극에 전압을 인가하는 본 발명의 전착법에 의하면, 높은 캐패시턴스 값을 갖는, 무정질의 루테늄 산화물 박막을 고온에서의 열처리 없이 온화한 조건에서 제조할 수 있으며, 이 박막은 전기화학 캐패시터의 전극으로서 유용하게 사용될 수 있다.