公开(公告)号：KR100622076B1

公开(公告)日：2006-09-11

申请号：KR1020050051557

申请日：2005-06-15

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 배귀남 ,  문길주 ,  이승복 ,  김수원 ,  이창진 ,  박상수

IPC: G01R29/24

Abstract: 본 발명은 극미량 하전 입자 전류측정 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 전류측정 장치는, 그 내부를 전기적으로 차폐시키는 케이스와, 케이스 내부에 설치되어 그 내부 공간을 전기적으로 차폐하며, 일측에 케이스를 관통하여 공기가 유입되는 공기 유입구가 형성된 차폐유닛과, 차폐유닛의 내부에 설치되어 공기 유입구를 통해 유입되는 공기 중에서 하전 입자를 채취하는 입자 채취부와, 입자 채취부에 의해 채취된 하전 입자가 포함하는 전하의 전류량을 측정하여 디지털 표시장치 또는 컴퓨터로 표시하는 전류측정유닛과, 공기 유입구를 통해 유입되는 공기의 양을 조절하는 공기량 조절 유닛을 포함하며, 입자 채취부는 하전 입자를 채취하여 전하와 입자를 분리하는 전도성 필터와, 전도성 필터를 지탱하는 스크린과, 전도성 필터 및 스크린을 지지 고정하는 지지부재 및 고정부재를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이러한 극미량 하전 입자 전류측정 장치에 의하면, 전기적 노이즈를 최소화하여 10
-14 A 정도의 미량 전류를 측정할 수 있으며, 전체 부피를 줄임으로써 전류측정 장치를 다른 여러 시스템에 널리 활용하는 것이 가능해진다.
하전, 에어로졸, 전류측정, 차폐, 필터

Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量非常小的带电粒子电流的设备。 根据本发明的电流测量装置可以是这种情况，用于电屏蔽其内部并设置在所述内壳，和电屏蔽到内部空间中，上述遮光部是通过壳体上的空气入口的一侧通过其引入空气形成并 ，被安装在收集空气中的带电粒子流过空气入口取出部分屏蔽单元粒子的内部，并测量由所述粒子收集单元到数字显示装置或是计算机收集含有带电粒子的电荷的电流的量 空气量调节单元，用于调节通过空气入口引入的空气量;颗粒收集单元包括用于收集带电颗粒以分离电荷和颗粒的导电过滤器，用于支撑导电过滤器的屏幕， 以及用于支撑和固定导电过滤器和屏幕的支撑构件和固定构件 它应。 根据这种非常小的带电粒子电流测量装置，电噪声被最小化，