公开(公告)号：KR101092866B1

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：KR1020100042815

申请日：2010-05-07

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이중기 ,  조병원 ,  이화영 ,  이상득 ,  우주만 ,  장원영 ,  조규영 ,  최수석 ,  송한주 ,  여인수 ,  조욱재

IPC: B01D53/46 ,  B01D53/32 ,  H05H1/26

CPC classification number: Y02C20/30

Abstract: 본 발명은 고농축함불소가스 열분해를 위한 고효율 열플라즈마 반응기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 플라즈마 처리 공정중 고농축 함불소가스를 용이하게 열분해시킬 수 있도록 최적의 재질 및 설계 구조로 만들어진 고농축함불소가스 열분해를 위한 고효율 열플라즈마 반응기에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 내부반응관과 외부반응관이 서로간에 반응기체 흐름통로를 위한 일정 간격을 형성하며 중첩된 이중관 반응기; 상기 외부반응관의 외경부에 일정 간격의 폐기체 흐름통로를 형성하며 배열되는 것으로서, 반응기체 흐름통로 및 폐기체 흐름통로에 각각 반응기체 및 폐기체를 공급하기 위한 반응기체 공급구와 폐기체 공급구가 하단부에 형성된 제1외부냉각관; 상기 제1외부냉각관의 외경부에 일정 간격의 냉각수 흐름통로를 형성하며 배열되는 것으로서, 상단 및 하단부에 각각 냉각수 흐름통로와 연통되는 냉각수 공급구 및 냉각수 배출구가 형성된 제2외부냉각관; 상기 내부 및 외부반응관의 하단이 체결되는 동시에 상기 제1외부냉각관 및 제2외부냉각관의 하단에 일체로 형성된 하부플랜지와 결합되는 배출블럭; 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 고농축 함불소가스 열분해를 위한 고효율 열플라즈마 반응기를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020110123375A

公开(公告)日：2011-11-15

申请号：KR1020100042815

申请日：2010-05-07

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이중기 ,  조병원 ,  이화영 ,  이상득 ,  우주만 ,  장원영 ,  조규영 ,  최수석 ,  송한주 ,  여인수 ,  조욱재

IPC: B01D53/46 ,  B01D53/32 ,  H05H1/26

CPC classification number: Y02C20/30

Abstract: PURPOSE: A high efficient thermal plasma reactor for pyrolyzing highly concentrated perfluorocompounds gas is provided to overcome safety-related problems and the capacity limit of a exhaust gas disposing device. CONSTITUTION: A high efficient thermal plasma reactor includes a dual pipe reactor(10), a first external cooling pipe(16), a second external cooling pipe(20), a plasma torch connecting plate(26), and a discharging block(30). The dual pipe reactor includes a dual pipe structure with different diameters and heights. The first external cooling pipe is arranged at the outer diameter part of an external reacting pipe(14) in the dual pipe reactor and forms a closed gas flow path(15). The second external cooling pipe is arranged on the outer diameter part of the external reacting pipe and forms a coolant flowing path(19). The plasma torch connecting plate is attached to an upper flange(22). The upper flange is integrated with the upper sides of the first external cooling pipe and the second external cooling pipe. The discharging block is combined with a lower flange(24).

Abstract translation: 目的：提供一种用于高浓度全氟化合物气体热解的高效热等离子体反应器，以克服安全问题和废气处理装置的容量限制。 构成：高效热等离子体反应器包括双管反应器（10），第一外部冷却管（16），第二外部冷却管（20），等离子体焰炬连接板（26）和排出块（30） ）。 双管反应器包括具有不同直径和高度的双管结构。 第一外部冷却管布置在双管反应器中的外部反应管（14）的外径部分处，形成封闭的气体流动通道（15）。 第二外部冷却管布置在外部反应管的外径部分上并形成冷却剂流动路径（19）。 等离子体焰炬连接板连接到上凸缘（22）。 上法兰与第一外部冷却管和第二外部冷却管的上侧一体化。 排出块与下凸缘（24）组合。