公开(公告)号：KR102149831B1

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：KR1020180138211

申请日：2018-11-12

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 심유민 ,  박재현 ,  김재경

IPC: C01B32/184 ,  B01J21/04 ,  G02F1/01

公开(公告)号：KR102118609B1

公开(公告)日：2020-06-04

申请号：KR1020180149831

申请日：2018-11-28

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 박재현 ,  심유민

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/02 ,  H01L29/16

公开(公告)号：KR102072580B1

公开(公告)日：2020-02-03

申请号：KR1020180134962

申请日：2018-11-06

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 박재현 ,  심유민 ,  김재경

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/324