公开(公告)号：KR1020010100604A

公开(公告)日：2001-11-14

申请号：KR1020000023921

申请日：2000-05-04

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 문성욱 ,  심태석

IPC: H01L27/146

Abstract: 본 발명은 초소형 3차원 수신안테나 어레이 구조의 일체형 적외선 이미지소자에 관한 것으로, MEMS의 여러 기술을 이용하여 3차원의 수신안테나 어레이 구조체를 형성한 후 이를 적외선 감지소자 어레이와 접합시켜 일체화된 형태의 적외선 이미지 감지소자를 제조함으로서 적외선 감지소자의 성능을 향상시킬 수 있는 일체형 적외선 이미지소자 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 반도체기판 상부에 절연막, 감광막 및 금속막이 순차적으로 적층된 상태에서 금속막에서부터 절연막까지 소정 부분이 식각되어 형성된 콘택 부위에는 원형의 상면으로부터 아래로 내려 갈수록 원형의 직경이 작아져서 하면의 수직 벽면에 원기둥 형태의 웨이브가이드가 형성되어 있으며, 웨이브 가이드 내부에는 반도체기판의 콘택부위로부터 돌출되는 적외선 감지소자가 구비되어 있다.
따라서, 기존의 마이크로웨이브 영역에서 사용되어 오던 안테나들을 대체할 수 있으며, 고성능의 적외선 이미지소자 분야 및 마이크로 웨이브영역에서 사용되는 모든 초고주파 소자에도 적용할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020020019856A

公开(公告)日：2002-03-13

申请号：KR1020000053217

申请日：2000-09-07

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 문성욱 ,  심태석 ,  오명환

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C3/002 ,  B81C2203/058

Abstract: PURPOSE: A method for aligning a three-dimensional micro structure is provided to align and combine a three-dimensional micro structure without damage on a three-dimensional pattern by using a guide and to remove the necessity of expensive equipment. CONSTITUTION: An upper and a lower three-dimensional micro structures(10,12) having different patterns(10a,12a) are aligned. Array guides(18) are combined to the four areas of the upper structure. The upper structure and the lower structure are aligned by three-dimensionally lifting down the array guide through an aligning portion(16) formed between an align guide consisting of wall bodies(14a,14b) corresponding to the array guides. Herein, the size of the guide is large enough to be detected by the eyes of a worker. Therefore, the structures are aligned with a low magnification microscope.

Abstract translation: 目的：提供一种用于对准三维微结构的方法，通过使用引导件对三维微结构进行三维微结构对准和组合而不损坏三维图案，并消除昂贵的设备的必要性。 构成：具有不同图案（10a，12a）的上部和下部三维微结构（10,12）被对准。 阵列引导件（18）组合到上部结构的四个区域。 上部结构和下部结构通过三维地将阵列引导件提升通过形成在对应于阵列引导件的壁体（14a，14b）的对准引导件之间的对准部分（16）而对齐。 这里，引导件的尺寸足够大以被工人的眼睛检测到。 因此，结构与低倍数显微镜对准。

公开(公告)号：KR100509580B1

公开(公告)日：2005-08-22

申请号：KR1020000023921

申请日：2000-05-04

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 문성욱 ,  심태석

IPC: H01L27/146

Abstract: 본 발명은 초소형 3차원 수신안테나 어레이 구조의 일체형 적외선 이미지소자에 관한 것으로, MEMS의 여러 기술을 이용하여 3차원의 수신안테나 어레이 구조체를 형성한 후 이를 적외선 감지소자 어레이와 접합시켜 일체화된 형태의 적외선 이미지 감지소자를 제조함으로서 적외선 감지소자의 성능을 향상시킬 수 있는 일체형 적외선 이미지소자 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 일체형 적외선 이미지소자의 구조에 있어서, 자외선의 노광량을 정밀하게 조절하여 구조물에 균일한 경사를 줌으로서 형성된 혼 형태의 3차원 안테나 어레이와; 반도체기판 상에 형성된 적외선 감지소자와; 상기 적외선 감지소자 위에 3차원 안테나 어레이를 결합시킴으로서 지향성을 통해 불필요한 잡음 성분을 제거하며, 상기 3차원 안테나 어레이의 윗면적 만큼의 빛을 아래의 적외선 감지소자에서 동일하게 흡수하도록 하는 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지소자를 제시한다. 따라서, 본 발명은 기존의 마이크로웨이브 영역에서 사용되던 안테나들을 대체할 수 있으며, 고성능의 적외선 이미지소자 분야 및 마이크로 웨이브영역에서 사용되는 모든 초고주파 소자에도 적용할 수 있다.

公开(公告)号：KR100397864B1

公开(公告)日：2003-09-19

申请号：KR1020000053217

申请日：2000-09-07

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 문성욱 ,  심태석 ,  오명환

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C3/002 ,  B81C2203/058

Abstract: A method of aligning microstructures using guides, which enables an align bonding technique, which is a technique in the Micro Electro Mechanical System (MEMS) field, with a cheap microscope of low power. In a system including upper and lower structures having different patterns, array guides combined to four sides of the upper structure, and align guides positioned at four sides of the lower structure to form walls, which are regularly spaced apart, the method is to align the upper and lower structures with lowering the array guide into an align portion formed between the array guide and the align guide. Though a 3D (3-dimensional) pattern such as a membrane structure or a trench structure made by a minute surface micro machining is formed at the structure, this method facilitates alignment without damage of the 3D pattern and without an expensive align device.

Abstract translation: 一种使用导向装置对准微结构的方法，其使得对准结合技术成为微电子机械系统（MEMS）领域中的技术，其具有低功耗的便宜显微镜。 在包括具有不同图案的上部和下部结构的系统中，阵列导向器结合到上部结构的四侧，并且定位在下部结构的四侧的导向器以形成规则地间隔开的壁，方法是对准 上部结构和下部结构，其中阵列引导件降低到在阵列引导件和对齐引导件之间形成的对齐部分中。 尽管通过微小表面微加工制成的诸如膜结构或沟槽结构的3D（三维）图案形成在该结构处，但是该方法便于对准而不损坏3D图案并且没有昂贵的对准装置。