公开(公告)号：KR20210026137A

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020190106499A

申请日：2019-08-29

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 윤정진 ,  황성권 ,  김정환 ,  유형근 ,  정승준 ,  이필립

IPC: H01L35/04 ,  H01L35/24 ,  H01L35/34

CPC classification number: H01L35/04 ,  H01L35/24 ,  H01L35/30 ,  H01L35/32 ,  H01L35/34

Abstract: 열전 효과를 갖는 초박막 열전소자는, 초박막 기판, 상기 기판 상의 일부분에 형성되는 단열층 및 상기 기판과 상기 단열층 위에 걸쳐서 열전 소재로 형성되는 복수 개의 액티브 레이어를 포함하고, 상기 복수 개의 액티브 레이어는 각각 전극으로 연결되고 상기 기판과 상기 단열층의 온도 차이로 인해 전류가 흐른다.