Abstract:
본 발명은 수직공진 표면광 레이저 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 좀더 구체적으로, 본 발명은 반사경의 외측면에 격자패턴을 구성함으로써 레이저의 출력광의 편광을 특정한 방향으로 안정화시킬 수 있는 수직 공진 표면광 레이저 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 수직공진 표면광 레이저는 기판(4), 양자우물 또는 화합물 반도체로 구성된 이득매질층(1), 굴절율이 다른 2종류의 반사물질면이 교대로 적층되어 형성된 상부 반사경(3) 및 하부 반사경(2)으로 구성된 반사경, 양성자 주입영역(6) 및 전기 상부 반사경(3)의 상면에 구성되며 빛을 방출하기 위한 레이저 창(12)이 형성된 전극(5)으로 구성되어 레이저 광을 방출하는 수직공진 표면광 레이저에 있어서, 전기한 반사물질면의 최외측면에 구성되며 비등방전인 선의 형태로 형성된 격자패턴층(14)을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 수직공진 표면광 레이저는 레이저로부터 발생된 빛의 편광 안정성이 우수하고 대구경의 수직공진 표면광 레이저의 편광 안정화를 위해서도 이용가능하며, 본 발명의 제조 방법에 의해 전기한 수직공진 표면광 레이저를 간단한 공정에 의해 경제적으로 제조할 수 있다.