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公开(公告)号：KR100623091B1
公开(公告)日：2006-09-18
申请号：KR1020030068178
申请日：2003-10-01
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L29/786
Abstract: 박막트랜지스터 제조방법에 대해 개시한다. 본 발명은, 기판 위에 게이트전극, 게이트 절연막, 활성층인 펜타신을 순차적으로 적층 형성한 후, 노출된 펜타신에 수소 플라즈마 표면처리를 수행하고 이어서 소스/드레인 전극을 형성시킨다. 여기서, 유기 박막트랜지스터의 유기 활성층 재료로 사용되는 펜타신은 높은 전도성을 가진 유기물질로서 p형 반도체의 특성을 나타내며 박막 형태로 성장되었을 때 매우 높은 이동도를 가져 유기 박막트랜지스터의 활성층으로 사용된다. 본 발명에서는 패터닝된 펜타신에 수소 플라즈마 처리를 수행하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 그레인 사이즈(grain size)에 의해 전기적 특성이 좌우되는 펜타신 표면의 거칠기(roughness)가 완화되어져 산란작용 및 트랩현상을 억제시킬 뿐만 아니라 포텐셜 장벽을 낮춰 이동도를 향상시킴으로써 전기적 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 플렉시블(flexible)한 기판에도 적용됨을 특징으로 한다.
수소, 플라즈마, 펜타신, 박막트랜지스터, 이동도, 점멸비Abstract translation: 公开了一种制造薄膜晶体管的方法。 本发明中，这样顺序层叠之后，以形成一个神栅电极，栅极绝缘膜，五的衬底上的有源层，并五苯的暴露表面上，然后通过形成源/漏电极上执行氢等离子体处理。 在此，使用的采取在有机薄膜晶体管的有源层具有非常高的流动性，当GOD被用作有机薄膜晶体管为具有高导电性的有机材料制成的有机戊活性材料，表示生长到形成薄膜的p型半导体的特性。 在本发明中，在图案化的并五苯上进行氢等离子体处理。 因此，通过降低提高的势垒的晶粒尺寸的移动性，以及对其中在其电特性通过抑制散射和诱捕现象影响的并五苯表面的松弛（粒径）粗糙度（粗糙度）改善的电特性 可以。 本发明的特征还在于它应用于柔性基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090091556A
公开(公告)日：2009-08-28
申请号：KR1020080016888
申请日：2008-02-25
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01L51/448 , H01L51/5256 , Y02E10/549 , Y10T428/31504 , Y10T428/31511 , Y10T428/31721 , Y10T428/31855
Abstract: An organic/inorganic hybrid thin film passivation layer and a manufacturing method thereof are provided to secure stability and reliability of an organic electronic device on a substrate by effectively blocking permeation of external oxygen and moisture. A photocurable polymer is coated on one surface or both surfaces of a plastic substrate(12) or an organic electronic device on a substrate. The photocurable polymer is selected from groups composed of epoxy resin, acryl resin, thermosetting polyimide, and polyethylene. An organic polymer passivation layer(10) is formed by curing the photocurable polymer through ultraviolet ray/ozone irradiation. An inorganic thin film passivation layer(11) is formed by depositing a nano hybrid material on the organic polymer passivation layer. The nano hybrid material includes two or more inorganic materials.
Abstract translation: 提供有机/无机混合薄膜钝化层及其制造方法，以通过有效地阻止外部氧气和水分的渗透来确保有机电子器件在衬底上的稳定性和可靠性。 光固化聚合物涂覆在塑料基板（12）或基板上的有机电子器件的一个表面或两个表面上。 光固化性聚合物选自环氧树脂，丙烯酸树脂，热固性聚酰亚胺和聚乙烯组成的组。 通过紫外线/臭氧照射使可光固化聚合物固化来形成有机聚合物钝化层（10）。 通过在有机聚合物钝化层上沉积纳米混合材料形成无机薄膜钝化层（11）。 纳米混合材料包括两种或更多种无机材料。
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公开(公告)号：KR1020060028607A
公开(公告)日：2006-03-30
申请号：KR1020040077633
申请日：2004-09-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
Abstract: 본 발명은 유기전계발광소자를 구성하는 발광층과 전자 수송층 사이에 알칼리금속 화합물로 이루어진 재결합강화층을 삽입한다. 상기 재결합강화층은 전극에서 주입되는 전자와 정공의 비율을 유지시키며 재결합 비율을 향상시켜, 결과적으로 발광 특성 및 전기적 특성을 향상시킨다. 본 발명에 따르면, 유기전계발광소자의 특성을 향상시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있으며, 공정을 단순화시키는 것이 가능하다.
유기전계발광소자, 알칼리금속 화합물, 발광층, 전자 수송층-
公开(公告)号：KR1020050032169A
公开(公告)日：2005-04-07
申请号：KR1020030068178
申请日：2003-10-01
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L29/786
Abstract: A method of manufacturing a TFT(Thin Film Transistor) is provided to improve mobility by performing a hydrogen plasma treatment on an active layer. A gate electrode(2), a gate insulating layer(3) and an active layer(4) made of pentacene are sequentially formed on a substrate(1). The active layer has a thickness range of 90 to 110 nm. A hydrogen plasma treatment is performed on the resultant structure including the active layer. A source and drain electrode are formed thereon. The hydrogen plasma is generated by using an RF(Radio Frequency) generator.
Abstract translation: 提供一种制造TFT（薄膜晶体管）的方法，以通过在有源层上进行氢等离子体处理来提高迁移率。 在基板（1）上依次形成栅电极（2），栅绝缘层（3）和由并五苯制成的有源层（4）。 有源层的厚度范围为90〜110nm。 对包括活性层的所得结构进行氢等离子体处理。 在其上形成源极和漏极。 通过使用RF（射频）发生器来产生氢等离子体。
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公开(公告)号：KR100926030B1
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：KR1020080016888
申请日：2008-02-25
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H01L51/448 , H01L51/5256 , Y02E10/549 , Y10T428/31504 , Y10T428/31511 , Y10T428/31721 , Y10T428/31855
Abstract: 본 발명은 기판 상에 구현된 유기 전자소자의 수분 및 산소 투과를 차단하고 플라스틱 기판(plastic substrate)의 가스 배리어 특성을 향상시키기 위한 유/무기 복합 박막 보호층 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 1) 기판 상의 유기 전자소자, 또는 플라스틱 기판의 전면 또는 전면과 후면 모두에 광경화성 고분자를 도포하는 단계; 2) 코팅된 광경화성 고분자를 자외선과 오존의 동시 조사(UV/O
3 ) 조사로 경화시켜 유기 고분자 보호층을 형성하는 단계; 및 3) 형성된 유기 고분자 보호층 위에 두 가지 이상의 무기물이 혼합된 나노 복합물질을 증착하여 무기 박막 보호층을 형성하는 단계에 의해 제조되는, 기판 상에 구현된 유기 전자소자와 플라스틱 기판의 수분 및 산소 투과를 차단하고 가스 배리어 특성을 향상시키기 위한 유/무기 복합 박막 보호층 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 유/무기 복합 박막 보호층은 자외선과 오존의 동시 조사에 의한 경화방식을 이용하여 유기 고분자 보호층의 표면을 친수성화 시킴으로써 상부 보호막과의 접착력을 증가시킬 수 있고, 상기 고분자 표면의 평탄화를 유발하여 광투과율을 크게 향상시킬 수 있으며, 외부로부터의 산소와 수분의 투과를 효과적으로 차단하여 가스 배리어 특성을 향상시킬 수 있다는 장점을 갖는다.
유기 고분자 보호층, 무기 박막 보호층, 광경화성 고분자, 자외선과 오존의 동시 조사, 유/무기 복합 박막 보호층-
公开(公告)号：KR100770247B1
公开(公告)日：2007-10-26
申请号：KR1020040077633
申请日：2004-09-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05B33/14
Abstract: 본 발명은 유기전계발광소자를 구성하는 발광층과 전자 수송층 사이에 알칼리금속 화합물로 이루어진 재결합 강화층을 삽입한다. 상기 재결합 강화층은 전극에서 주입되는 전자와 정공의 비율을 유지시키며 재결합 비율을 향상시켜, 결과적으로 발광 특성 및 전기적 특성을 향상시킨다. 본 발명에 따르면, 유기전계발광소자의 특성을 향상시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있으며, 공정을 단순화시키는 것이 가능하다.
유기전계발광소자, 알칼리금속 화합물, 발광층, 전자 수송층
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